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国家自然科学基金(10876023)

作品数:4 被引量:11H指数:2
相关作者:王占山朱京涛涂昱淳宋竹青黄秋实更多>>
相关机构:同济大学更多>>
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相关领域:理学机械工程一般工业技术更多>>

领域

  • 10个机械工程
  • 10个理学
  • 8个电子电信
  • 7个一般工业技术
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主题

  • 10个多层膜
  • 10个溅射
  • 10个反射率
  • 10个磁控
  • 10个磁控溅射
  • 7个应力
  • 6个原子力显微镜
  • 5个单层膜
  • 5个电镜
  • 5个氧化层
  • 4个等离子体
  • 4个等离子体诊断
  • 4个多层膜结构
  • 4个多通道
  • 4个性能检测
  • 3个单色
  • 3个单色器
  • 3个导管
  • 3个低密度
  • 3个低温退火

机构

  • 10个同济大学
  • 4个上海市特殊人...
  • 1个复旦大学
  • 1个教育部
  • 1个上海应用技术...
  • 1个中国科学院
  • 1个中国科学院长...
  • 1个中国科学院长...
  • 1个天津津航技术...

资助

  • 10个国家自然科学...
  • 8个国家高技术研...
  • 8个上海市科学技...
  • 5个上海市自然科...
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  • 5个上海市教育发...
  • 5个上海市教育发...
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传媒

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  • 8个光子学报
  • 7个光学仪器
  • 6个中国激光
  • 6个光学学报
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  • 2个光学技术
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  • 2个同济大学学报...
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地区

  • 10个上海市
10 条 记 录,以下是 1-10
朱京涛
供职机构:同济大学
研究主题:多层膜 磁控溅射 极紫外 反射率 周期多层膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王占山
供职机构:同济大学
研究主题:多层膜 极紫外 软X射线 反射率 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘磊
供职机构:同济大学
研究主题:粗糙度 磁控溅射制备 表面粗糙度 多层膜 原子力显微镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王晓强
供职机构:同济大学
研究主题:多层膜 面形误差 反射率 极紫外 超光滑表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐敬
供职机构:同济大学理学院精密光学工程技术研究所
研究主题:原子力显微镜 方解石 磁控溅射 反射率 碳酸钙
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋竹青
供职机构:同济大学
研究主题:周期多层膜 大视场 多层膜结构 多层膜 膜系
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭默言
供职机构:上海应用技术学院理学院
研究主题:反射率 多层膜 高反射率 软X射线 直流磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张众
供职机构:同济大学
研究主题:多层膜 极紫外 磁控溅射 X射线 反射率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
涂昱淳
供职机构:同济大学
研究主题:磁控溅射 反射率 磁控溅射制备 氮气 反应溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄秋实
供职机构:同济大学
研究主题:多层膜 反射率 极紫外 X射线 衍射效率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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