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国家科技重大专项(2012ZX02702001)
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吴晓斌
卢启鹏
龚学鹏
罗艳
彭忠琦
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中国科学院光电研究院
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龚学鹏
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:三维曲面 机械工程领域 光学元件 多点成形 数值模拟
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吴晓斌
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:分压 极紫外 真空 法兰 紫外辐照
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卢启鹏
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:近红外光谱 近红外 光学元件 超高真空 单色器
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彭忠琦
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 超高真空 近红外 单色器 EUV
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罗艳
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:分压 紫外辐照 真空 液滴 法兰
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王魁波
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:分压 极紫外 法兰 真空 紫外辐照
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王宇
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:抑制率 X射线光学 极紫外光刻 超宽带 真空
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宋源
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 反射镜 EUV 夹持 应力
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王宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:波导 极紫外 激光器 光子芯片 准分子激光器
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王依
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 EUV 反射镜 清洗方法 超高真空
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