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福建省自然科学基金(2010J05136)
作品数:
3
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相关作者:
徐文彬
任高潮
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徐文彬
供职机构:集美大学信息工程学院
研究主题:氧空位 栅介质 XN TIO 等离子处理
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任高潮
供职机构:浙江大学信息与电子工程学系
研究主题:溅射 磁控溅射 靶材 靶面 充气器
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