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国家高技术研究发展计划(2008AA04Z30711)

作品数：1 被引量：8H指数：1
相关作者：刘川王宇哲张卓汪学方刘胜更多>>
相关机构：华中科技大学更多>>
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领域

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 5个湖北省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
王宇哲
供职机构：华中科技大学
研究主题：金属电极 硅 通孔 MEMS 非接触式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘胜
供职机构：华中科技大学
研究主题：微机电系统 MEMS 封装 键合 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张卓
供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院
研究主题：MEMS 金 硅 键合 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪学方
供职机构：华中科技大学
研究主题：真空封装 微机电系统 刻蚀 键合 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘川
供职机构：华中科技大学
研究主题：微机电系统 真空封装 圆片级 键合 真空
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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