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国家自然科学基金(60877066)
国家自然科学基金(60877066)
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5
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吴亚明
徐静
钟少龙
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吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
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徐静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
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翟雷应
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微光机电系统 静电驱动 微机电系统 大尺寸
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钟少龙
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
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黄占喜
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:光纤准直器 光开关 光斑半径 增透膜 体硅工艺
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李四华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
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龙亮
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:磁性薄膜 键合 磁场传感器 基底 闪耀光栅
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刘英明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微光机电系统 体硅工艺 大尺寸 MOEMS MEMS
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