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国家自然科学基金(60877066)

作品数:5 被引量:13H指数:2
相关作者:吴亚明徐静钟少龙翟雷应龙亮更多>>
相关机构:中国科学院中国科学院研究生院中国科学院大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 8个机械工程
  • 8个电子电信
  • 6个自动化与计算...
  • 5个理学
  • 4个电气工程
  • 4个一般工业技术
  • 3个文化科学
  • 1个建筑科学

主题

  • 8个MEMS
  • 7个衰减器
  • 7个体硅
  • 7个体硅工艺
  • 7个微光机电系统
  • 7个光机
  • 7个光机电
  • 7个光纤
  • 6个调制器
  • 6个可调
  • 5个占空比
  • 5个扫描镜
  • 4个低热
  • 4个低温键合
  • 4个电极
  • 4个调谐
  • 3个单模
  • 3个单模光纤
  • 3个弹性梁
  • 3个电隔离

机构

  • 8个中国科学院
  • 6个中国科学院研...
  • 2个中科院上海微...
  • 2个中国科学院大...
  • 1个唐山学院
  • 1个北京品傲光电...

资助

  • 8个国家高技术研...
  • 8个国家自然科学...
  • 4个国家重大科学...
  • 4个国家重点实验...
  • 4个中国科学院知...
  • 2个上海市科委光...
  • 1个高等学校骨干...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个河北省科学技...
  • 1个北京市教委科...
  • 1个上海市科学技...

传媒

  • 7个光学精密工程
  • 6个光电子.激光
  • 5个传感器与微系...
  • 4个中国激光
  • 4个仪表技术与传...
  • 4个功能材料与器...
  • 4个光通信技术
  • 3个电子元件与材...
  • 3个纳米技术与精...
  • 2个红外与激光工...
  • 2个Journa...
  • 2个机械强度
  • 2个光学学报
  • 2个中国电机工程...
  • 2个科技开发动态
  • 2个光电工程
  • 2个传感技术学报
  • 2个半导体光电
  • 2个微纳电子技术
  • 2个真空科学与技...

地区

  • 8个上海市
8 条 记 录,以下是 1-8
吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
翟雷应
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微光机电系统 静电驱动 微机电系统 大尺寸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟少龙
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄占喜
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:光纤准直器 光开关 光斑半径 增透膜 体硅工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李四华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龙亮
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:磁性薄膜 键合 磁场传感器 基底 闪耀光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘英明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微光机电系统 体硅工艺 大尺寸 MOEMS MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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