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国家自然科学基金(60401009)
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王喆垚
刘理天
何枫
曾雪锋
吴建刚
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王喆垚
供职机构:清华大学
研究主题:键合 三维集成电路 辅助圆 圆片 高深宽比
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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胡欢
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:微全分析系统 水性 薄膜介质 极板 介质层
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曾雪锋
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:介质上电润湿 微流体 微机械 芯片实验室 微全分析系统
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何枫
供职机构:清华大学
研究主题:数值模拟 液滴 冲击射流 射流 微管道
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董良
供职机构:清华大学信息科学技术学院电子工程系
研究主题:室温红外探测器 介质上电润湿 非晶硅 微测辐射热计 TFT
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吴建刚
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:介质上电润湿 微流体 微机械 变焦 芯片实验室
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庄志伟
供职机构:清华大学
研究主题:压阻 悬臂梁 检测器件 绝热性能 位置敏感探测器
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岳瑞峰
供职机构:清华大学
研究主题:介质上电润湿 微针 注射针头 压力传感器 经皮给药
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