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国家自然科学基金(10875093)

作品数：36 被引量：76H指数：5
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领域

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主题

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资助

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地区

  • 29个湖北省
共 29 条 记 录，以下是 1-10
马志斌
供职机构：武汉工程大学
研究主题：金刚石薄膜 金刚石 微波等离子体化学气相沉积 化学气相沉积 单晶金刚石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹为
供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室
研究主题：发射光谱 MPCVD 微波等离子体 光谱研究 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严垒
供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室
研究主题：单晶金刚石 金刚石 微波等离子体 化学气相沉积 CVD金刚石膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪建华
供职机构：武汉工程大学
研究主题：化学气相沉积 金刚石薄膜 金刚石膜 微波等离子体 金刚石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈武林
供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室
研究主题：ECR等离子体 离子温度 刻蚀 化学气相 金刚石膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李国伟
供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院
研究主题：MPCVD 等离子体 CVD金刚石 刻蚀 金刚石膜
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高攀
供职机构：武汉工程大学
研究主题：微波等离子体化学气相沉积 金刚石 单晶金刚石 微波等离子体 化学气相沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴俊
供职机构：武汉工程大学
研究主题：离子温度 ECR等离子体 刻蚀 金刚石膜 离子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭必松
供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室
研究主题：ECR等离子体 CVD金刚石膜 离子温度 刻蚀 磁镜场
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘鑫
供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室
研究主题：CVD金刚石 刻蚀 ECR ECR等离子体 CVD金刚石膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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