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中央高校基本科研业务费专项资金(01-09-10015)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：刘雷钧廖飞红李小平更多>>
相关机构：华中科技大学更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术更多>>

领域

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主题

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  • 3个隔振系统
  • 3个光刻
  • 3个光刻机
  • 3个刚度
  • 3个刚度特性
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机构

  • 3个华中科技大学

资助

  • 3个国家重点基础...
  • 3个国家自然科学...
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传媒

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地区

  • 3个湖北省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
廖飞红
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 减振器 补偿技术 平板显示 刚度特性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李小平
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 编织袋 移动机器人 包装机 浸液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘雷钧
供职机构：华中科技大学
研究主题：刚度特性 刚度 光刻机 隔振系统 隔振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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