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国家自然科学基金(60290081)

作品数：7 被引量：0H指数：0
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相关机构：中国科学院微电子研究所中国科学院更多>>
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领域

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地区

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刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
商立伟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：有机场效应晶体管 有机半导体 绝缘衬底 电极 有机半导体材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
涂德钰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：微电子学 分子电子学 交叉线 电子束光刻 有机分子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
易里成荣
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：纳米电子器件 单电子器件 光学光刻技术 纳电子器件 共振隧穿器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丛舜
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：纳米压印 模版 交叉线 抗蚀剂 有机场效应管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李金儒
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：数据格式转换 CIF格式 电子束直写 微光刻技术 CIF
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵珉
供职机构：湛江师范学院信息科学与技术学院
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束抗蚀剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张立辉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束直写 单电子晶体管 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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