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天津市科技支撑计划(10ZCKFGX01200)
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杨保和
李翠平
苏林
王进
张明伟
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杨保和
供职机构:天津理工大学
研究主题:金刚石 金刚石膜 声表面波器件 声表面波 金刚石薄膜
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李翠平
供职机构:天津理工大学
研究主题:石墨烯 声表面波 敏感膜 金刚石 声表面波器件
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苏林
供职机构:天津理工大学
研究主题:压电薄膜 工科 集成电路 磁控溅射 传感器
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张明伟
供职机构:天津理工大学电子信息工程学院天津市薄膜电子与通信器件重点实验室
研究主题:金刚石 ALN薄膜 基底 化学键 平均自由程
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朱宇清
供职机构:天津理工大学
研究主题:机电耦合系数 声表面波器件 声表面波 表面粗糙度 SAW器件
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李翠萍
供职机构:天津理工大学
研究主题:FBAR ZNO PF 薄膜体声波谐振器 溅射功率
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张庚宇
供职机构:天津理工大学
研究主题:ALN 叉指换能器 IDT 多层膜 声表面波器件
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尹涛涛
供职机构:天津理工大学
研究主题:ALN 压电性能 射频磁控溅射 ALN薄膜 SAW器件
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崔健
供职机构:天津理工大学
研究主题:金刚石 承包人 不平衡报价 风险分析 建筑市场
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王进
供职机构:天津理工大学
研究主题:ALN 衬底温度 多层膜 ALN薄膜 压电性能
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