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国家高技术研究发展计划(2009AA01Z228)
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徐军
吴文刚
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吴文刚
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 MEMS 悬臂梁 各向异性刻蚀 聚焦离子束
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徐军
供职机构:北京大学
研究主题:扫描电镜 钨丝 场发射 电子显微镜 真空度测量
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王志强
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研究主题:USB通讯 SQUID SID 控制系统 金属
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