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国家自然科学基金(59772029)

作品数：3 被引量：4H指数：2
相关作者：王季陶张卫张剑云丁士进王鹏飞更多>>
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地区

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
丁士进
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张卫
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张剑云
供职机构：复旦大学
研究主题：化学气相淀积 金刚石 相图 热力学 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王季陶
供职机构：复旦大学
研究主题：金刚石 相图 化学气相淀积 低压 热力学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王鹏飞
供职机构：复旦大学
研究主题：自对准 场效应晶体管 原子层淀积 存储器 漏电流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘志杰
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
研究主题：金刚石 相图 金刚石薄膜 热力学 非平衡定态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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