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国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ250002)

作品数:4 被引量:20H指数:3
相关作者:钟少龙龙亮吴亚明徐静郭智慧更多>>
相关机构:中国科学院中国科学院大学中船重工远舟(北京)科技有限公司更多>>
发文基金:国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
相关领域:电气工程电子电信理学机械工程更多>>

领域

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地区

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7 条 记 录,以下是 1-7
钟少龙
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龙亮
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:磁性薄膜 键合 磁场传感器 基底 闪耀光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭智慧
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:键合 长形 波长可调谐 半导体 高反膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李拥华
供职机构:上海大学理学院
研究主题:第一性原理研究 第一性原理 太阳能电池 第一性原理计算 TIO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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