您的位置： 专家智库 > >

国家重点基础研究发展计划(2007CB935302)

作品数：17 被引量：72H指数：5
相关作者：谢常青朱效立刘明马杰陈宝钦更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国工程物理研究院安徽大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 44个电子电信
  • 36个自动化与计算...
  • 33个理学
  • 29个机械工程
  • 25个一般工业技术
  • 22个文化科学
  • 16个电气工程
  • 14个金属学及工艺
  • 13个化学工程
  • 12个核科学技术
  • 10个经济管理
  • 9个轻工技术与工...
  • 9个自然科学总论
  • 8个交通运输工程
  • 8个医药卫生
  • 7个天文地球
  • 5个生物学
  • 5个建筑科学
  • 5个航空宇航科学...
  • 4个动力工程及工...

主题

  • 33个光学
  • 31个光刻
  • 28个刻蚀
  • 25个电子束光刻
  • 25个衍射
  • 25个金属
  • 24个阵列
  • 23个光栅
  • 22个电路
  • 22个透射
  • 22个芯片
  • 21个等离子体
  • 21个掩模
  • 21个X射线光刻
  • 20个电极
  • 20个衍射光学
  • 19个信号
  • 18个透射光
  • 17个位相
  • 14个电子束直写

机构

  • 30个中国科学院微...
  • 9个安徽大学
  • 6个中国工程物理...
  • 5个北京工业大学
  • 5个中国科学院
  • 5个中国科学院微...
  • 3个长春理工大学
  • 3个兰州大学
  • 2个北京大学
  • 2个南京大学
  • 2个中国科学技术...
  • 1个北京应用物理...
  • 1个合肥学院
  • 1个北京邮电大学
  • 1个北京师范大学
  • 1个东南大学
  • 1个北京科技大学
  • 1个电子科技大学
  • 1个华东师范大学
  • 1个北京航空航天...

资助

  • 44个国家重点基础...
  • 43个国家自然科学...
  • 42个国家高技术研...
  • 25个国家科技重大...
  • 11个中国科学院重...
  • 6个中国博士后科...
  • 6个中国工程物理...
  • 6个中国科学院知...
  • 5个国家杰出青年...
  • 5个“九五”国家...
  • 5个国家教育部博...
  • 5个国家重大科学...
  • 4个安徽省自然科...
  • 4个北京市自然科...
  • 4个国家科技攻关...
  • 4个安徽省高校省...
  • 4个国家重点实验...
  • 4个应用光学国家...
  • 4个中国人民解放...
  • 3个北京市科技新...

传媒

  • 34个微纳电子技术
  • 21个光学学报
  • 18个物理学报
  • 17个Journa...
  • 17个光电工程
  • 17个微细加工技术
  • 16个微电子学
  • 14个半导体技术
  • 12个光子学报
  • 11个光学精密工程
  • 9个物理
  • 9个中国光学学会...
  • 8个红外与激光工...
  • 8个强激光与粒子...
  • 8个第十二届全国...
  • 8个2010(第...
  • 7个科学通报
  • 7个微电子学与计...
  • 7个电子器件
  • 5个中国科学技术...

地区

  • 27个北京市
  • 7个安徽省
  • 6个四川省
  • 2个吉林省
  • 1个广东省
共 44 条 记 录，以下是 1-10
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 MM 衍射效率 透射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈军宁
供职机构：安徽大学
研究主题：反相器 灵敏放大器 电路 SRAM 裕度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海亮
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹磊峰
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：波带片 单级 衍射光栅 软X射线 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张庆钊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：启辉 原子层沉积 等离子体 刻蚀工艺 电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共5页<12345>
聚类工具0