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北京京仪自动化装备技术有限公司

作品数：140 被引量：0H指数：0
相关机构：东莞市中镓半导体科技有限公司中微半导体设备(上海)有限公司北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术经济管理医药卫生更多>>

合作机构

文献类型

  • 136篇专利
  • 3篇标准
  • 1篇科技成果

领域

  • 29篇自动化与计算...
  • 17篇一般工业技术
  • 6篇经济管理
  • 2篇电气工程
  • 2篇医药卫生
  • 1篇石油与天然气...
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇水利工程
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇文化科学

主题

  • 57篇半导体
  • 44篇温控
  • 30篇制冷
  • 24篇传感
  • 22篇温控设备
  • 22篇废气
  • 22篇感器
  • 22篇传感器
  • 20篇温控系统
  • 20篇晶圆
  • 20篇废气处理
  • 18篇制冷系统
  • 18篇膨胀阀
  • 15篇电子膨胀阀
  • 15篇机械手
  • 14篇废气处理设备
  • 13篇温控装置
  • 12篇控制装置
  • 12篇半导体制造
  • 11篇半导体生产

机构

  • 140篇北京京仪自动...
  • 3篇中微半导体设...
  • 3篇东莞市中镓半...
  • 2篇北京七星华创...
  • 2篇工业和信息化...
  • 1篇中国电子技术...
  • 1篇北京京运通科...
  • 1篇北京北方华创...

年份

  • 7篇2022
  • 54篇2021
  • 54篇2020
  • 12篇2019
  • 7篇2018
  • 6篇2017
共 140 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
温度控制设备运行数据采集装置
本实用新型实施例提供一种温度控制设备运行数据采集装置，包括：人机交互模块以及第一数据采集模块，人机交互模块与第一数据采集模块连接；其中，第一数据采集模块包括互感器以及测量仪表，互感器安装在温度控制设备的预设部件上，测量仪...
宋朝阳冯涛常鑫董春辉何茂栋芮守祯曹小康
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半导体专用温控设备与负载装置联动控制系统及方法
本发明提供一种半导体专用温控设备与负载装置联动控制系统及方法，所述系统包括负载可编程逻辑控制器、负载人机界面、负载装置、温控可编程逻辑控制器、温控人机界面和温控设备；负载装置由加热器、流量检测开关、温度保护开关、接触器和...
宋朝阳冯涛常鑫董春辉芮守祯何茂栋曹小康
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一种半导体工艺的废气处理系统及其废气的处理方法
本发明提供了一种半导体工艺的废气处理系统及其废气的处理方法，包括：第一传感器、第一三通阀、燃烧室、水洗支路和水洗室；第一三通阀的第一出口通过燃烧室与水洗室连通，第一三通阀的第二出口通过水洗支路与水洗室连通。本发明提供的半...
杨春水
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一种用于半导体生产的温控系统及温控方法
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种用于半导体生产的温控系统及温控方法。用于半导体生产的温控系统包括制冷装置和循环装置，循环装置包括水箱，制冷装置包括制冷组件和蒸发器，制冷组件与蒸发器的吸热通路形成制冷回路，水箱的...
冯涛宋朝阳张悦超胡文达靳李富曹小康芮守祯董春辉何茂栋
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一种晶圆批量传送机构
本发明实施例提供一种晶圆批量传送机构，包括机座、晶圆出盒装置以及晶圆搬运装置，机座上设置有用于供晶圆盒放置的第一放置位置和用于供晶圆放置的第二放置位置；晶圆出盒装置对应第一放置位置设置于机座上，晶圆出盒装置用于自晶圆盒中...
刘洪亮郝瀚梁烁
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温控系统及温控方法
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及温控系统及温控方法温控系统，温控系统包括控制器、冷却水回路和循环液回路，冷却水回路包括阀体和用于冷却水流通的热交换器的吸热通路，循环液回路包括第一温度传感器、用于循环液流通的热交换器...
宋朝阳冯涛靳李富芮守祯何茂栋曹小康
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温度控制方法、装置、电子设备及存储介质
本发明提供一种温度控制方法、装置、电子设备及存储介质，其中，该方法包括：获取上一第一时间域和上一第二时间域温度的平均变化率；若根据上一第一时间域的温度判断获知温度变化不稳定，则根据上一第一时间域和上一第二时间域温度的平均...
王松杨春水薛山张坤黄一桐张浩章文军宁腾飞陈彦岗杨春涛王继飞席涛涛何磊闫潇
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一种对废气进行降温处理的双层水洗塔装置
本实用新型公开了一种对废气进行降温处理的双层水洗塔装置，涉及半导体行业废气清洁技术领域，包括水箱，所述水箱上通过卡箍连接有中空的洗涤塔,本实用新型洗涤塔分为第一洗涤腔室和第二洗涤腔室，在他们的上端分别安装有水管一和水管二...
王继飞杨春水席涛涛章文军宁腾飞陈彦岗杨春涛张坤闫萧蔡传涛王磊
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机械手组件及其控制方法
本发明涉及机械手领域，提供了一种机械手组件及其控制方法。该机械手组件包括旋转轴、旋转臂、控制器、驱动件、第一光电传感器和第二光电传感器；旋转轴的侧壁形成有沿其周向延伸的限位挡片，限位挡片上沿逆时针方向依次形成有第一遮挡区...
吕维迪杨森元刘洪亮黄仁允张敬鹏
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传送机械手
本发明涉及半导体加工技术领域，提供一种传送机械手，包括：基体、电源、静电发生装置和换向部件，基体包括用于支撑晶圆的支撑部；电源包括正极端和负极端；静电发生装置连接于电源，静电发生装置包括正电荷端头和电子端头，正电荷端头和...
周亮
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