宋永香
- 作品数:13 被引量:46H指数:4
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:理学电子电信化学工程机械工程更多>>
- 波长1530~1570nm水晶波片增透膜
- 2001年
- 随着20世纪90年代后期因特网的蓬勃发展,对通信容量及传输速率提出无止境的要求,造就了DWDM系统的极大成功.光纤通讯器件跟电子器件初期发展一样,也是先从分立元件开始,任何光路经过元件的两面一定是要镀膜的,这些元件的薄膜种类很多,本文介绍的水晶波片增透膜就是其中之一.为使此元件在流水线作业上安装及校正的方便、可靠,要求镀制好增透膜的波片不仅有良好的光学性能,即满足波长1530 nm~1570 nm波段处的剩余反射率小于千分之二,而且要求镀好波片O光和E光的位相角差的正负误差范围控制在一定的界限内.为此,我们通过多次试验,优化膜系设计,不断地改变和寻找适当的镀膜工艺来镀制增透膜.目前,已基本满足此种波片的使用要求,并形成一定的小批量生产.(PH6)
- 宋永香李庆国王英剑
- 关键词:波长增透膜
- ZrO_2/SiO_2棱镜偏振膜的膜系优化设计与制备被引量:3
- 2005年
- 对以K9玻璃为基底,采用ZrO2 和SiO2 为高低膜料来制备棱镜偏振膜,并进行膜系优化设计。设计指标为:波长 540nm处满足Tp>99%,Ts<1%。优化结果表明,膜系以H3L(HL)13 H3LH为最佳膜系。测试结果表明,此膜系完全满足设计指标,偏振性能优良。探讨了参考波长对偏振膜工作带宽的影响。
- 沈自才孔伟金宋永香汤兆胜范正修
- 关键词:棱镜带宽
- 钬激光器用高反膜的制备及其工艺研究
- 2011年
- 采用红外石英作为基底材料,利用SiO2/ZrO2膜系制备2100nm波段钬激光器0°高反膜。提出一套完整的优化工艺,解决了薄膜的材料(膜料和基底)本身的水吸收,克服了薄膜表面光洁底差、散射吸收损耗大、容易破裂等问题,镀制出的薄膜在激光使用波长透射率小于0.1%,粗糙度小于1nm,并且具有长期稳定性好,可靠性高等特点。
- 宋永香黄建兵于振坤齐红基
- 关键词:钬激光器高反膜
- 波长1550nm水晶波片增透膜
- 水晶波片是一种双折射率的晶片,因此,在镀制增透膜时,不但要考虑其双折射率的增透效果,而且需满足晶体o光及e光的位相角延尺问题.从优化膜系设计,选择膜料,改变工艺来镀制增透膜,目前已基本满足水晶波片的使用要求,并形成小批量...
- 宋永香李庆国王英剑张蕾王靖
- 关键词:增透膜镀膜工艺
- 文献传递
- 非均匀性对单层膜光学特性的影响被引量:7
- 2005年
- 探讨了不同规律的非均匀性对单层膜的光谱特性的影响,与均匀单层膜对比发现折射率正变引起透射率的极大值减小,折射率负变引起透射率的极大值变大,当非均匀性很小时,透射率的极小值基本不变.对实验制备的单层膜从实验和理论上进行了对比并给出了较好的拟合,发现在薄膜和基底的界面处存在一过渡层,过渡层可近似为线性,并从理论上给予了分析解释.
- 沈自才宋永香王英剑范正修邵建达
- 关键词:非均匀性光谱特性
- 离子溅射技术对增透膜性能的影响
- 2001年
- 在薄膜的制备方面,目前有三大技术比较流行:电子枪(真空蒸发的主要方法)、离子辅助(离子镀技术)和离子束溅射(溅射技术的方法之一).对于这三种技术的一般特性,各种文献中都有介绍和说明,但对于薄膜的具体性能的影响则报导很少.我们曾研究了离子辅助沉积技术对薄膜性能的影响,本文是对该研究的补充,着重研究离子束溅射技术对制备增透膜性能的影响,如薄膜的表面形貌、薄膜的折射率、薄膜的弱吸收等,并对比在这几种工艺条件下制备的薄膜性能的优缺点,指出离子束溅射技术的固有特点和在制备薄膜产品中的局限性.本文在对薄膜性能的分析中采用了新的分析手段,如原子力显微镜、表面热透镜技术、X射线衍射技术.(OH13)
- 王英剑宋永香
- 关键词:增透膜
- 非均匀性对增透膜增透特性的影响被引量:5
- 2005年
- 通过对基底与膜层、膜层之间界面处非均匀性对增透膜增透性能影响的讨论,得到以下结论:在沉积初期,由于基底表面特性和沉积参数的波动,从而在基底与膜层之间产生过渡层,使增透性能减弱,对增透膜的增透效果影响较大;在膜层之间的过渡层,正余弦过渡使增透性能变强,双曲、指数使增透性能减弱,但影响较小,线性渐变基本没有影响。实验镀制了增透膜并对其进行拟合分析,发现基底与膜层以及膜层之间的过渡层按正余弦变化时与实验结果比较吻合,并给予了解释。
- 沈自才宋永香王英剑范正修邵建达
- 关键词:非均匀性增透膜
- 波长1315nm的石英窗口增透膜被引量:3
- 2000年
- 用 Ta2 O5/ Si O2 膜系镀制了石英窗口增透膜。并在优化膜系 ,改进膜厚控制后 ,使得 1 31 5nm波长单面剩余反射率降到 0 .0 5%。
- 宋永香王英剑王靖张蕾李庆国李如凤
- 关键词:增透膜
- 关于制备1315nm 45°入射高反射镜的实验研究被引量:3
- 2000年
- 从优化膜系、控制膜厚、改善膜面、均衡应力等四个方面开展了实验研究工作 ,为制备 1 31 5nm 4 5°高反射镜提供一些判断实验数据 ,并提出改进的方法 ,从而使制备的高反射膜取得满意的结果 :反射率大于 99.8%。
- 王英剑宋永香张蕾王靖李庆国
- 关键词:膜厚应力
- 离子溅射技术对薄膜性能的影响
- 运用离子溅射沉积技术制备光学增透膜,着重研究离子溅射技术对制备的薄膜性能的影响,包括表面形貌、折射率、薄膜弱吸收、薄膜结构等性能,分析离子溅射技术的特点及制备薄膜的局限性.
- 王英剑易奎宋永香李庆国范正修
- 关键词:离子溅射表面形貌弱吸收
- 文献传递