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蔚燕华
作品数:
2
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李韫言
中国科学院半导体研究所
李成基
中国科学院半导体研究所
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2000
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空间生长GaAs材料多孔部分的俄歇能谱分析与阴极荧光形貌观察
在空间生长SI-GaAs的某些部位有汽泡产生,经俄歇分析,汽泡表面约有10nm的砷层 ,它从半绝缘砷化镓内部逸出,导致其成为半导体。用阴极荧光形貌观测了其多晶结构。
李韫言
蔚燕华
李成基
关键词:
砷化镓
汽泡
俄歇分析
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空间生长GaAs材料多孔部分的俄歇能谱分析与阴极荧光形貌观察
2000年
在空间生长SI GaAs的某些部位有汽泡产生 ,经俄歇分析 ,汽泡表面约有 1 0nm的砷层 ,它从半绝缘砷化镓内部逸出 ,导致其成为半导体。用阴极荧光形貌观测了其多晶结构。
李韫言
蔚燕华
李成基
关键词:
砷化镓
汽泡
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