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李韫言
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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电子电信
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合作作者
李成基
中国科学院半导体研究所
王万年
中国科学院半导体研究所
何宏家
中国科学院半导体研究所
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中国科学院半导体研究所
商广义
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中子辐照高阻硅中深能级缺陷的检测与分析
李成基
李韫言
王万年
关键词:
中子辐照
高阻硅
深能级缺陷
磁场中生长砷化镓的阴极荧光形貌与低温阴极荧光光谱的研究
从熔体中生长砷化镓时,由于重国引起的热对流,往往在晶体中会产生杂质条纹影响材料的质量,在消除杂质条纹的措施中,除在空间微重力这一理想条件外,在磁场中生长砷化镓晶体已被证明是一个行之有效的方法,在观察杂质条纹的技术中,除传...
李成基
李韫言
王万年
关键词:
砷化镓
磁场
荧光光谱
文献传递
中子辐照高阻硅中深能级缺陷的检测与分析
李成基
李韫言
王万年
关键词:
中子辐照
高阻硅
深能级缺陷
文献传递
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砷化镓扩散长度的变加速电压束感生电流法测量
计算了变加速电压的束感生电流法测定扩散长度理论公式,并用电子探针和扫描电镜测量了各种GaAs材料的扩散长度。
王万年
李成基
李韫言
关键词:
半导体材料
加速电压
文献传递
扫描深能级瞬态谱技术(SDLTS)
1990年
深能级瞬态谱(DLTS)技术是研究半导体中深能级杂质与缺陷的有效手段。但是它给出的信息是在一个比较大的范围内的平均值,不能给出微区域深能级的空间分布。而半导体材料的不均匀性往往是受深能级杂质或缺陷的不均匀分布所控制的。所以研究与测量深能级的空间分布以及它们之间的关系,对于提高半导体材料的质量与半导体器件的性能具有十分重要的意义。为此,我们在光注入深能级电流瞬态谱(OTCS)技术的基础上,建立了一种所谓扫描深能级瞬态谱(SDLTS)技术。进行了半绝缘砷化镓中深能级及其空间分布的测量工作。
李成基
邓兆扬
李韫言
关键词:
半导体
深能级瞬态谱
半绝绝砷化镓电阻率均匀性的三电极技术测量
李韫言
李成基
关键词:
半绝缘体
电阻率
砷化镓
第三电极
半导体材料
半绝缘砷化镓Hall测量中的若干问题
建立了绝缘电阻大于10<'13>Ω和温度起伏小于0.1℃的半绝缘砷化镓Hall测量装置。研究了环境温度、湿度、漏电流、数据读取时间、测量电压、样品尺寸等因素对电阻率与迁移率的影响,并讨论了各种因素所引起的测量误差。
李成基
李韫言
王万年
何宏家
关键词:
半绝缘砷化镓
电阻率
迁移率
文献传递
空间生长GaAs材料多孔部分的俄歇能谱分析与阴极荧光形貌观察
在空间生长SI-GaAs的某些部位有汽泡产生,经俄歇分析,汽泡表面约有10nm的砷层 ,它从半绝缘砷化镓内部逸出,导致其成为半导体。用阴极荧光形貌观测了其多晶结构。
李韫言
蔚燕华
李成基
关键词:
砷化镓
汽泡
俄歇分析
文献传递
电子探针--阴极荧光技术在砷化镓及有关化合物中的应用
李韫言
李成基
关键词:
电子探针
砷化镓
荧光分析
晶体缺陷
砷化镓扩散长度的变加速电压束感生电流法测量
2000年
计算了变加速电压的束感生电流法测定扩散长度理论公式 ,并用电子探针和扫描电镜测量了各种GaAs材料的扩散长度。
王万年
李成基
李韫言
关键词:
加速电压
砷化镓
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