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邓永强
邓永强
作品数:
2
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供职机构:
电子科技大学
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
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合作作者
曾志
电子科技大学
丁莉
电子科技大学
成志斌
电子科技大学
周吴
电子科技大学
王皓
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表面等离子体
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波长
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超大规模集成
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超大规模集成...
1篇
超精
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超精密
1篇
大规模集成电...
机构
2篇
电子科技大学
作者
2篇
邓永强
1篇
李淼
1篇
郝晓红
1篇
黄洪钟
1篇
于慧君
1篇
刘乐天
1篇
彭倍
1篇
王皓
1篇
周吴
1篇
成志斌
1篇
丁莉
1篇
曾志
年份
2篇
2014
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超精密温度控制装置
黄洪钟
彭倍
王皓
曾志
于慧君
郝晓红
周吴
丁莉
刘乐天
邓永强
李淼
成志斌
围绕IC制造装备国家重大战略需求,针对光刻机部件超精密温度控制的技术目标,开展精密机械、传热学及流体动力学等协同创新研究,在基础理论、重大技术攻关及研发方面取得优秀成果。光刻机是超大规模集成电路制造的核心设备,包括曝光系...
关键词:
关键词:
温度控制装置
光刻机
超大规模集成电路
基于SP的亚波长结构透镜的设计与表征方法研究
随着纳米科学和微纳加工技术的快速发展,纳米光学以本身具备的特殊光学性质在诸多研究领域发挥着越来越重要的作用。在纳米尺度探索光学世界引发了人们越来越浓厚的兴趣,这也要求人们可以在亚波长尺度对可见光进行操控。为了实现这一目的...
邓永强
关键词:
透镜设计
亚波长结构
表面等离子体
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