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邓永强

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:电子科技大学更多>>
相关领域:一般工业技术电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇电路
  • 1篇亚波长
  • 1篇亚波长结构
  • 1篇透镜
  • 1篇透镜设计
  • 1篇温度控制
  • 1篇温度控制装置
  • 1篇控制装置
  • 1篇集成电路
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机
  • 1篇SP
  • 1篇表面等离子体
  • 1篇波长
  • 1篇超大规模集成
  • 1篇超大规模集成...
  • 1篇超精
  • 1篇超精密
  • 1篇大规模集成电...

机构

  • 2篇电子科技大学

作者

  • 2篇邓永强
  • 1篇李淼
  • 1篇郝晓红
  • 1篇黄洪钟
  • 1篇于慧君
  • 1篇刘乐天
  • 1篇彭倍
  • 1篇王皓
  • 1篇周吴
  • 1篇成志斌
  • 1篇丁莉
  • 1篇曾志

年份

  • 2篇2014
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
超精密温度控制装置
黄洪钟彭倍王皓曾志于慧君郝晓红周吴丁莉刘乐天邓永强李淼成志斌
围绕IC制造装备国家重大战略需求,针对光刻机部件超精密温度控制的技术目标,开展精密机械、传热学及流体动力学等协同创新研究,在基础理论、重大技术攻关及研发方面取得优秀成果。光刻机是超大规模集成电路制造的核心设备,包括曝光系...
关键词:
关键词:温度控制装置光刻机超大规模集成电路
基于SP的亚波长结构透镜的设计与表征方法研究
随着纳米科学和微纳加工技术的快速发展,纳米光学以本身具备的特殊光学性质在诸多研究领域发挥着越来越重要的作用。在纳米尺度探索光学世界引发了人们越来越浓厚的兴趣,这也要求人们可以在亚波长尺度对可见光进行操控。为了实现这一目的...
邓永强
关键词:透镜设计亚波长结构表面等离子体
文献传递
共1页<1>
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