刘业异
- 作品数：54 被引量：73H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术生物学机械工程更多>>
- CCD生物芯片检测仪设计被引量：2
- 2002年
- 生物芯片（基因芯片和蛋白芯片）是提取生物分子信息的一种新技术,主要用于检测多种基因或蛋白的表达水平,正在成为新世纪最主要的分子诊断手段。本文介绍了一种CCD生物芯片检测仪的原理、结构组成,并着重对系统设计、荧光图象的处理和检测结果的分析软件进行了讨论。
- 唐小萍刘业异王淑蓉胡松
- 关键词：生物芯片分子诊断系统设计
- 图像处理在高精度对准系统中的应用被引量：24
- 2000年
- 阐述高分辨力光刻机的图像对准系统的原理及实现过程。着重介绍图像处理技术在高精度对准系统中的应用。并讨论系统应用中的图像处理算法。
- 杨维全陈伟明胡松刘业异
- 关键词：图像处理光刻机集成电路
- 自适应全反射极紫外投影光刻物镜
- 自适应全反射极紫外EUV(Extreme Ultraviolet)投影光刻物镜，可用于EUV投影光刻机中，它包括2－4片球面或非球面反射镜和一片变形反射镜构成的投影光学系统及成像探测器和控制器，极紫外光照射掩模后，依次通...
- 张强姚汉民刘业异胡松
- 文献传递
- 5偏振光离轴照明成像模拟研究
- 矢量衍射理论适用于大数值孔径光学系统中研究照明光的偏振态对成像对比度的影响.本文主要研究了离轴照明下的S偏振光和P偏振光对成像的影响;发现照明光的偏振态严重影响了空间成像,结果表明在大数值孔径的光刻系统中,可以通过调制照...
- 余国彬姚汉民胡松刘业异
- 关键词：离轴照明偏振光对比度偏振态光刻
- 文献传递
- X射线光刻对准边缘增强技术及性能研究被引量：1
- 2004年
- 针对三种不同的图像边缘增强方法进行了掩模和硅片识别精度以及对准精度的实验验证。采用一种新的测试方法,即先通过软件得到大量的数据,然后再进行数据分析,得出LAPLAC算子在识别精度和对准精度两个方面比较好,而改进后的SOBELII算子的对准时间最短,对准精度也很高。
- 王德强谢常青叶甜春刘业异胡松
- 关键词：X射线光刻拉普拉斯算子
- 光刻机的自动调焦装置
- 本实用新型是一种光刻机的自动调焦装置，属于对已有光刻机自动调焦装置中的调平机构，调焦机构的进一步改进。其特征在于调平机构中，调平板由一压紧装置固定，分别由螺纹副和电机组成的三个支撑装置，活动地支撑着调平板，由压电陶瓷驱动...
- 吴濯才刘业异谢传钵姚汉民林大键
- 文献传递
- 电荷耦合器生物芯片检测仪
- 唐小萍王淑蓉刘业异
- 生物芯片扫描仪高速扫描台研究被引量：2
- 2002年
- 随着生物工程技术的不断发展,生物芯片的制作技术和检测技术越来越受到人们的关注。简要介绍了生物芯片的概念及其应用、生物芯片检测仪的种类及国外的发展状况,着重阐述了国内研制的激光共聚焦生物芯片扫描仪的高速二维扫描台,主要包括扫描台的结构、扫描原理、技术要求和如何实现这些要求以及扫描台控制的实现问题等。最后简要介绍了目前国内生物芯片检测仪的研究进展情况。
- 陈兴俊胡松姚汉民刘业异
- 关键词：生物芯片扫描仪基因
- 用于检测飞机恒速传动装置及集成驱动发电机的检测系统
- 用于检测飞机恒速传动装置及集成驱动发电机的检测系统，由原动机、检测扭矩和原动机转速的扭矩转速传感器、高速齿轮箱、连接到高速齿轮箱并为其提供润滑冷却的油站、飞机恒速传动装置CSD及集成驱动发电机IDG、向CSD或IDG油箱...
- 唐小萍王肇志罗正全刘业异田宏
- 文献传递
- 同轴对准系统及输出光强的机辅分析被引量：2
- 1998年
- 介绍亚半微米分步重复投影光刻机同轴对准系统的成像机理和工作过程。该系统在掩模和硅片上均刻有时准光栅标记。经光栅衍射后形成干涉信号，使对准信噪比大大提高，并实现了掩模和硅片之间的直接对准，同时利用光弹性调制器组件对光学信号进行了光学调制，由电路实施解调，提供了一种保持高信噪比，又使弱信号探测不降低精度的对准方案；并通过计算机辅助分析的手段，讨论了ＳＡＶＡＲＴ的剪切量、工件台运动速度等对该系统输出信号的影响。
- 胡松陈伟明姚汉民刘业异
- 关键词：投影光刻机计算机辅助分析硅片
