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王言

作品数：24 被引量：4H指数：1
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：一般工业技术理学电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 7篇一般工业技术
  • 6篇理学
  • 4篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇医药卫生

主题

  • 15篇微机械
  • 14篇超声
  • 13篇声换能器
  • 13篇换能器
  • 13篇超声换能器
  • 8篇微机电技术
  • 7篇压电
  • 7篇力传感器
  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 6篇压电层
  • 5篇压力传感器
  • 4篇微机械技术
  • 3篇掺杂
  • 2篇电极
  • 2篇电容
  • 2篇电容式
  • 2篇电压激励
  • 2篇掩模

机构

  • 24篇复旦大学

作者

  • 24篇王言
  • 15篇任俊彦
  • 6篇鲍敏杭
  • 3篇于连忠
  • 3篇晋琦
  • 2篇付超超
  • 2篇吴东平
  • 1篇吕宁
  • 1篇马顺利
  • 1篇李长春
  • 1篇周昊

传媒

  • 2篇传感技术学报
  • 1篇Journa...
  • 1篇电子学报

年份

  • 3篇2024
  • 2篇2023
  • 7篇2022
  • 2篇2021
  • 1篇2020
  • 2篇2015
  • 2篇1991
  • 2篇1990
  • 1篇1989
  • 2篇1988
共 24 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种柔性透明电容式微机械超声换能器及其制备方法
本发明属于微机械技术领域，具体是一种柔性透明电容式微机械超声换能器及其制备方法。本发明是基于导电颗粒掺杂SU‑8光刻胶等柔性透明材料的，其单元结构包括自下而上设置的：PET衬底层、ITO电极层、空腔、SU‑8支撑层、SU...
任俊彦王言何勒铭
埋沟式横向电压型集成压力传感器被引量：1
1991年
本文提出一种低功耗埋沟式横向电压型集成压力传感器结构,并根据精确的工艺模型成功地进行了工艺计算机模拟程序和制作。实验表明,该器件可以在低功耗条件下具有很高的灵敏度和可靠的稳定性。
晋琦鲍敏杭王言周昊
关键词：压力传感器电压型传感器
双岛-梁-膜结构压力传感器
本实用新型是一种芯片为双岛——梁——膜结构的半导体压力传感器。碰梁横贯双岛，并将硅膜分为对称的两个部分，力敏元件设置在硅梁上。与传统的膜式结果相比。有将应力二次集中的效果，提高了传感器的灵敏度和线性度。可用于微压测量领域...
王言于连忠鲍敏杭
文献传递
制备高性能TFT的方法
本发明涉及晶体管制造领域，公开了一种制备高性能TFT的方法。本发明中，在活化层上形成金属层且对活化层进行离子掺杂之后，再采用微波退火工艺对掺杂离子进行激活，借助金属层对微波的高吸收作用，提高了微波退火工艺的效率，并且成本...
付超超吴东平王言
文献传递
一种具有环状压电层的微机械超声换能器
本发明属于微机电技术领域，具体为一种具有环状压电层的微机械超声换能器。本发明换能器是由换能器单元延拓形成的二维阵列；换能器单元包括压电环、复合薄膜、电容腔体和衬底；压电环包含电极层与压电层；复合薄膜包括电极层和中性层；衬...
任俊彦何勒铭王言
一种侧边界自由的微机械超声换能器
本发明属于微机电技术领域，具体为一种侧边界自由的微机械超声换能器。换能器单元包括压电叠层、中性层、空腔和衬底；压电叠层包含中心圆电极层、外圈电极层、压电层与底电极层；空腔包含圆柱空腔与空心柱空腔；中性层通过圆柱空腔与空心...
任俊彦何勒铭王言
硅十字梁单块力传感器
1990年
本文介绍一种用硅材料制成的十字梁力传感器,它的各主要结构部分是通过微加工技术在同一硅片上得到的。具有灵敏度高、温漂小,成本低、一致性好等优点。本文对器件进行了结构分析、应力计算,得到了各结构参数对器件灵敏度的影响,并在理论分析的指导下制作了高灵敏度的力传感器样品,最高灵敏度可达340mV/10g,适用于小量程范围力的测量。器件还具有过载保护结构。
王言王毕南晋琦鲍敏杭
关键词：硅传感器力传感器
一种侧边界自由的微机械超声换能器
本发明属于微机电技术领域，具体为一种侧边界自由的微机械超声换能器。换能器单元包括压电叠层、中性层、空腔和衬底；压电叠层包含中心圆电极层、外圈电极层、压电层与底电极层；空腔包含圆柱空腔与空心柱空腔；中性层通过圆柱空腔与空心...
任俊彦何勒铭王言
一种半固定的微机械超声换能器
本发明公开了一种半固定的微机械超声换能器。换能器单元包括压电叠层、中性层、空腔和衬底；压电叠层包含上电极层、压电层与底电极层；中性层为压电叠层提供支撑作用，其具有镂空，即呈长方形的主体支撑结构是半固定的，一对侧边是自由的...
任俊彦何勒铭王言
十字梁岛结构的硅力传感器
本实用新型属半导体力传感器领域，包括硅膜芯片、力敏器件、陶瓷管座、玻璃底板几个部分。其中硅膜芯片设计成十字梁岛结构形式，力敏器件设置在应变梁接近边框的端点处，用半导体离子注入工艺制作。与通常的力传感器相比，本器件体积小，...
王言鲍敏杭
文献传递
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