晋琦
- 作品数：5 被引量：1H指数：1
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 埋沟式横向电压型集成压力传感器被引量：1
- 1991年
- 本文提出一种低功耗埋沟式横向电压型集成压力传感器结构,并根据精确的工艺模型成功地进行了工艺计算机模拟程序和制作。实验表明,该器件可以在低功耗条件下具有很高的灵敏度和可靠的稳定性。
- 晋琦鲍敏杭王言周昊
- 关键词：压力传感器电压型传感器
- 矩形双岛结构过压保护型硅压力传感器
- 吴宪平胡美凤晋琦张国权罗桂隆龚凤英
- “矩形双岛结构过压保护型硅压力传感器”是我们在“七五”国家重点科技攻关过程中发明的国家专利。采用这种新型机械结构并解决了一系列工艺难点，包括双面套准光刻，硅的各向异性腐蚀，凸角图形在腐蚀中的削角补偿以及静电封接等等，在一...
- 关键词：
- 关键词：硅压力传感器
- 埋沟式横向电压型压力传感器工艺计算机模拟和制作
- 晋琦鲍敏杭
- 关键词：传感器计算机模拟半导体工艺非线性灵敏度压力传感器
- 硅十字梁单块力传感器
- 1990年
- 本文介绍一种用硅材料制成的十字梁力传感器,它的各主要结构部分是通过微加工技术在同一硅片上得到的。具有灵敏度高、温漂小,成本低、一致性好等优点。本文对器件进行了结构分析、应力计算,得到了各结构参数对器件灵敏度的影响,并在理论分析的指导下制作了高灵敏度的力传感器样品,最高灵敏度可达340mV/10g,适用于小量程范围力的测量。器件还具有过载保护结构。
- 王言王毕南晋琦鲍敏杭
- 关键词：硅传感器力传感器
- 压力传感器可靠性试验仪的研制
- 1991年
- 本文介绍作者们已研制成功的一种新型压力传感器可靠性试验仪,它主要由集成定时电路、电磁控制阀门、集成运放、集成分频器、集成电子模拟开关等电路组成,具有自动操作、性能稳定、压力切换快、机械磨损小和重复性好等优点,因此它是压力传感器可靠性测定和老化试验的有用仪器,在实际应用中效益较好。
- 晋琦王言李长春何治平
- 关键词：压力传感器可靠性试验仪
