刘波
- 作品数：18 被引量：9H指数：2
- 供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于KEITHLEY2000的传感器稳定性测试方法被引量：3
- 2009年
- 针对传感器稳定性的测试需要,基于KEITHLEY2000表的功能和SCAN卡的功能,对其应用进行了二次开发,设计了单通道传感器稳定性测试和多通道传感器稳定性测试的硬件平台。通过对KEITHLEY2000表的RS-232通讯参数设置、测试参数设置进行研究,在.net平台下用C#语言完成了传感器数据采集和传感器稳定性数据的分析程序,实现了传感器稳定性数据的自动测试功能。测试精度与KEITHLEY2000表的测试精度相同。
- 匡石刘波陈玉玲张玉喆
- 关键词：传感器稳定性内存数据
- 可输出多个参量的硅电容差压传感器
- 可输出多个参量的硅电容差压传感器，在传感器压力腔内，设置硅电容差压敏感单元、压力敏感单元及温度敏感单元，改变硅电容差压传感器原单一的差压输出形式，实现单一传感器测量现场的多参数测量输出；同时后部处理电路利用压力单元及温度...
- 张治国李颖刘剑张娜刘波刘沁徐秋玲张哲王雪冰
- 文献传递
- 硅电容差压传感器批量测试工装夹具的设计
- 2009年
- 针对硅电容差压传感器测试项目,达到对被测传感器实现批量、快速、连续的测试要求,设计了硅电容差压传感器测试工装夹具,并对其进行了有限元受力分析,充分证明了夹具的设计满足了测试过程对夹具的材料,密封性、轻便性以及各部分结构中心对准等的要求。
- 陈玉玲匡石刘波张哲
- 关键词：测试装置工装夹具
- 高对称性小型高差压传感器
- 高对称性小型高差压传感器，包括壳体23上部的电磁兼容器21、接插件25，将外壳23焊于底座9上，其特征在于：壳体23内是将两个相同的绝压式双芯体扩散硅芯片11与各自的转换件14焊接一起，对称置于底座9上，被测管27的接口...
- 孙海玮陈信琦牛军刘宏伟徐淑霞郭丽娟刘沁刘波
- 文献传递
- 一种硅电容多参量差压传感器及静压影响补偿方法
- 一种硅电容多参量差压传感器及静压影响补偿方法，在传感器压力腔内，设置硅电容差压敏感单元、压力敏感单元及温度敏感单元，改变硅电容差压传感器原单一的差压输出形式，实现单一传感器测量现场的多参数测量输出；同时后部处理电路利用压...
- 张治国李颖刘剑张娜刘波刘沁徐秋玲张哲王雪冰
- 差压传感器双向过载误差的完善被引量：3
- 2009年
- 文中从结构设计、制作工艺、原材料的性能参数选择等方面介绍了影响差压传感器双向过载误差的因素及完善双向过载误差方法的体会。
- 刘剑李颖刘波张娜张治国刘沁
- 关键词：差压传感器膜片
- 高稳定MEMS硅压力敏感芯片关键技术研究
- 2020年
- 在单晶硅晶圆的基础上,设计了压力敏感芯片结构,并基于MEMS工艺制作了压力敏感芯片.根据芯片实际已经有要求,提出了提高芯片稳定性的制备过程的关键工艺其影响因素.测量结果表明,所制备高稳定MEMS硅压力敏感芯片线性度优于0.1%,重复性0.05%,迟滞性为0.05%,满足工业压力变送器的高精度测量要求,在实际工程应用中应用效果良好.
- 张治国李颖郑东明刘宏伟金琦祝永峰刘波
- 关键词：压力传感器压阻效应
- 制备硅电容差压传感器用测试夹具
- 制备硅电容差压传感器用测试夹具，包括水平、定位、夹紧、气路、密封部分，其特征在于传感器定位机构：将左容室、六个中间容室、右容室依次置于左、右支撑座之间，七个V型支撑分别置于各容室之间，导杆穿过容室、V型支撑、左、右支撑座...
- 陈玉玲刘波匡石刘沁王勃张哲
- 文献传递
- 压力开关传感器
- 压力开关传感器，其特征是压力传感器组件与压力开关组件同处于同一壳体15内，压力开关基座14与传感器基座4焊接在一起，压力开关组件与压力传感器组件分别附着于各自的基座上，包容于一个感压腔内，由引压接口1和外壳15焊接成一体...
- 孙海玮牛军刘宏伟郭丽娟刘波张志昊
- 文献传递
- 制备硅电容差压传感器用测试夹具
- 制备硅电容差压传感器用测试夹具，包括水平、定位、夹紧、气路、密封部分，其特征在于传感器定位机构：将左容室、六个中间容室、右容室依次置于左、右支撑座之间，七个V型支撑分别置于各容室之间，导杆穿过容室、V型支撑、左、右支撑座...
- 陈玉玲刘波匡石刘沁王勃张哲
- 文献传递
