张灿云
- 作品数：22 被引量：55H指数：4
- 供职机构：上海应用技术学院理学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市科学技术发展基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信文化科学化学工程更多>>
- Zn_(1-x)Mg_xO薄膜p型导电和光学性能被引量：10
- 2006年
- 采用超声喷雾热分解(U ltrason ic Spray Pyrolysis,USP)方法,以醋酸锌、醋酸镁、醋酸铵、氯化铝的混合水溶液为前驱溶液,在单晶S i(100)衬底上制备了ZnO,Zn0.81Mg0.19O,N-A l共掺杂ZnO和N-A l共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜。以X射线衍射(XRD)、场发射-扫描电镜(FE-SEM)、霍尔效应(Hall-effect)、光致发光(Photolum inescence,PL)谱等手段研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电学性能、光学性能和带隙变化。电学测试结果表明,未掺杂ZnO及Zn0.81Mg0.19O薄膜为n型导电;而N-A l共掺杂ZnO和N-A l共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜呈p型导电。Zn0.81Mg0.19O和N-A l共掺杂Zn0.81Mg0.19O(p型)薄膜在维持ZnO纤锌矿结构的前提下,光学带隙随Mg掺杂量增加而增大。初步结果显示,优化工艺参数下通过Mg掺杂制备光学带隙可调的p型Zn0.81Mg0.19O薄膜,对于试制Zn1-xMgxO基同质p-n结、短波长(紫外、深紫外)器件等方面有重要意义。
- 张霞李效民陈同来于伟东高相东张灿云赵俊亮
- 关键词：导电性能光致发光
- 室温下用脉冲激光沉积E-BN薄膜被引量：2
- 2002年
- 在利用等离子体增强脉冲激光沉积系统沉积立方氮化硼 (cBN)薄膜时 ,发现了氮化硼 (BN)材料的E BN相 ,并利用扫描电镜和红外吸收光谱及X射线衍射技术对薄膜样品进行了分析 ,得到了制备较高质量E BN薄膜的一些热力学参数及时间参数 ,验证了现有的E BN结构的形成理论。
- 任志昂张灿云钟向丽王金斌杨国伟
- 关键词：脉冲激光沉积红外吸收光谱X射线衍射分子晶体
- 常温下脉冲激光沉积立方氮化硼薄膜和金刚石的纳米成核热力学研究
- 该文采用偏压辅助射频等离子体增强脉冲激光沉积(RF-PEPLD)方法在常温下(25℃)制备立方氮化硼(c-BN)薄膜,初步研究了薄膜沉积参数:激光能量密度、射频功率、基底负偏压和镀膜时间对立方氮化硼薄膜生长的影响,并分析...
- 张灿云
- 关键词：脉冲激光沉积立方氮化硼
- 文献传递
- 氧原子对二甲基亚硝胺和吡咯烷亚硝胺的氧化
- 用量子化学密度泛函（DFT）方法,在B3LYP/6-31G**水平下,研究了氧原子对二甲基亚硝胺（NDMA）和吡咯烷亚硝胺（NPYR）氧化的反应机理,并考虑了溶剂化效应。氧
- 李澜王竑张灿云
- ZnO薄膜的制备和掺杂方法研究
- ZnO基光电器件的巨大市场潜力激发了ZnO材料的研究热潮。实现ZnO高效、稳定、可控的p型掺杂并得到ZnO同质p-n结结构是目前制约ZnO材料在光电子领域应用的主要障碍。制备具有低阻、高迁移率的优质p型ZnO薄膜并研究其...
- 张灿云
- 关键词：氧化锌薄膜P型掺杂溶胶凝胶法晶体结构电学性能
- 氧化锌基薄膜材料载流子传输机制及光电器件研究
- 李效民于伟东高相东边继明张灿云
- 该项目是上海市科委光科技行动计划，主要创新结果如下：1、开发出“脉冲激光沉积”、“超声喷雾热分解”两种方法相结合装备高质量ZnO半导体薄膜新技术，通过预制籽晶层和优化生长条件及后处理工艺，得到了高质量ZnO半导体薄膜的最...
- 关键词：
- 关键词：氧化锌薄膜
- 喷雾热解法生长N掺杂ZnO薄膜机理分析被引量：19
- 2005年
- 通过超声喷雾热解工艺,以醋酸锌和醋酸铵的混合水溶液为前驱溶液,在单晶Si(100) 衬底上制备了N掺杂ZnO薄膜,采用热质联用分析(TG—DSC—MS)、X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)和霍耳效应(Hall-effect)测试等手段研究了喷雾热解工艺下N掺杂ZnO薄膜的生长机理、晶体结构和电学性能.结果表明,随衬底温度的不同,薄膜呈现出不同的生长机理,从而影响薄膜的晶体结构和电学性能.在优化的衬底温度下,实现了ZnO薄膜的p型掺杂,得到的p型ZnO薄膜具有优异的电学性能,载流子浓度为3.21×1018cm-3,霍耳迁移率为110cm2·V-1s-1,电阻率为1.76×10-2Ω·cm.
- 赵俊亮李效民边继明张灿云于伟东高相东
- 关键词：P型ZNO薄膜喷雾热解掺杂
- 掺氮空穴型氧化锌薄膜材料的喷雾热解制备方法
- 本发明涉及掺氮空穴型氧化锌薄膜材料的喷雾热解制备方法，属于半导体材料领域。本发明配制锌源和氮源构成摩尔配比为Zn<Sup>2+</Sup>∶NH<Sub>4</Sub><Sup> +</Sup>＝1∶(1－3)的先驱体溶...
- 李效民边继明张灿云赵俊亮
- 文献传递
- ZnO基薄膜载流子传输特性研究
- 通过对ZnO基薄膜的载流子传输特性研究,实现对ZnO基薄膜电学性能的控制,解决氧化锌薄膜中难于实现有效受主掺杂的困难,提供一种制备p型ZnO膜及其同质p-n结材料的新方法,以满足制备ZnO基短波长光电子器件的需要.采用超...
- 边继明李效民张灿云赵俊亮
- 关键词：P型ZNO薄膜
- 文献传递
- 液固界面反应法制备c-BN纳米晶被引量：7
- 2004年
- 通过高能脉冲激光诱导丙酮 六方氮化硼界面反应制备出了立方氮化硼纳米晶体,透射电子显微镜分析表明制备的立方氮化硼(c BN)纳米晶体为直径约30～80nm的类球状晶体。傅立叶变换红外光谱和X射线衍射都分别用来表征c BN的结构。
- 钟向丽王金斌张灿云任志昂杨国伟
- 关键词：立方氮化硼纳米晶C-BN透射电子显微镜红外光谱X射线衍射
