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张炯
作品数:
8
被引量:12
H指数:2
供职机构:
清华大学
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发文基金:
“九五”国家科技攻关计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李瑞伟
清华大学信息科学技术学院微电子...
钱伟
清华大学信息科学技术学院微电子...
林惠旺
清华大学
钱佩信
清华大学
陈培毅
清华大学
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作者
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张炯
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林惠旺
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年份
1篇
2006
1篇
2000
1篇
1999
5篇
1998
共
8
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N-掺杂浓度对小尺寸nMOSFETs热载流子寿命的影响
被引量:5
2000年
从模拟和试验二方面对 N- 区的结构参数影响器件可靠性的规律进行了细致的研究 .考虑到工艺条件 ,主要讨论 N-区的掺杂浓度 ( NN- )的变化对器件可靠性的影响 .通过模拟和从实际工作中得到的结果 ,对于 0 .35— 1 .2μm器件 ,我们将 N- 区的掺杂浓度优化为 7× 1 0 17— 1×1 0 18/cm3.利用优化结果进行试验生产 ,并对器件寿命进行测量的结果表明 ,沟道长度 0 .8μm以上的均可以在 5V的电源电压下可靠地工作 1 0年 (工业标准 ) ;0 .4μm的器件 ,可以在 4V的电源电压下达到 1 0年的工作寿命 (热载流子寿命 ) .
张炯
李瑞伟
关键词:
热载流子
NMOSFETS
AC热载流子应力下nMOSFET’s的退变研究
被引量:1
1999年
本文研究了固定漏电压、栅脉冲AC应力条件下nMOSFET’s器件特性的退化情况.不同高低电平栅脉冲的应力实验结果表明,AC热载流子应力条件下器件特性的退化与栅脉冲高低电平的覆盖的范围密切相关.AC应力条件下器件退化是否增强,取决于AC应力过程是否经历了不同模式的DC应力.
张炯
李瑞伟
张文良
关键词:
热载流子效应
不同偏置电压下SiGe HBT Early电压的理论研究
被引量:4
1998年
Early电压VA和直流增益β是双极器件在模拟电路中应用的重要参数,本文研究了在器件不发生大注入效应和雪崩倍增效应的条件下,SiGeHBT中基区Ge含量以及VCE对器件的Early电压VA的影响,并用数值计算的方法得到了在其它参数相同的情况下,器件的Early电压VA随基区中Ge含量和偏置电压VCE的变化规律,表明Early电压VA是随VCE和Ge含量的增加而增加的.这些结果对SiGeHBT在模拟集成电路中的设计和应用提供了指导.
钱伟
金晓军
张炯
林惠旺
陈培毅
钱佩信
关键词:
锗化硅
HBT
应变层
反向关态电流在热载流子蜕变效应研究中的应用
被引量:1
1998年
本文研究了nMOSFET’s器件的反向关态电流(Iofr)特性.我们发现,刚受过热载流子应力的器件Iofr呈现一个突然的增高,而在随后的一段时间里(我们定义其为弛豫时间)又呈指数下降,这一现象是由于在热载流子应力过程中注入的热空穴的消散造成的.所以我们认为Iofr不但可以作为热空穴注入的有力证据,而且可以作为热空穴研究的有效手段.
张炯
李瑞伟
钱伟
关键词:
IC
NMOSFET
亚微米和深亚微米nMOSFTEs 热载流子退变效应的研究
张炯
关键词:
NMOS器件
热载流子效应
螺旋结构的电子衍射
张炯
关键词:
电子衍射
对称性
碳纳米管
nMOSFET’s界面对热空穴俘获率的研究
被引量:1
1998年
本文中,我们利用nMOSFET’s器件反向关态电流对器件的热空穴的俘获率(我们定义它为在一个热载流子应力过程中界面俘获的空穴量)进行了初步的探讨.结果表明,热空穴的俘获率随应力时间呈对数增长;与漏附近栅氧中的纵向电场有直接的关系;与热空穴的注入效率没有明显的联系.
张炯
吴正立
李瑞伟
关键词:
MOS
集成电路
热载流子效应
亚微米和深亚微米nMOSFETs热载流子退变效应的研究
该文围绕热载流子效应(HCE)这一严重影响亚微米和深亚微米NMOS器件可靠性的问题 ,进行了相关的实验和研究.为了提高LDD-NMOS器件的抗热载流子能力,研究人员利用TMA-MEDICI二维数值模拟软件,研究了漏轻掺杂...
张炯
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