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毛健

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电容间隙
  • 1篇电容式
  • 1篇电容式加速度...
  • 1篇速度传感器
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度传感器
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 1篇毛健
  • 1篇熊斌
  • 1篇李玉芳
  • 1篇林友玲
  • 1篇王跃林
  • 1篇车录锋
  • 1篇周晓峰

传媒

  • 1篇固体电子学研...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器被引量：2
2009年
提出了一种高对称电容式微加速度传感器,该传感器为硅四层键合三明治结构,在完成传感器整体结构制作的同时,实现了圆片级真空封装。利用多次氧化的方法,既精确控制了加速度传感器的初始电容间距,又实现了限位凸点的制作。该加速度传感器的谐振频率为657Hz,品质因子为198,灵敏度为0.59V/g。
毛健车录锋林友玲李玉芳周晓峰熊斌王跃林
关键词：电容式加速度传感器
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