王建业
- 作品数：12 被引量：80H指数：6
- 供职机构：复旦大学信息科学与工程学院微电子学系更多>>
- 发文基金：上海市科委科技攻关项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学机械工程更多>>
- 微型红外光声气体传感器的研究
- 红外光声气敏传感器利用气体的特征光谱进行测量，具有测量范围宽、灵敏度和精度高、寿命长、响应快等优点，更重要的是它还具有极好的选择性，可以实现连续分析和自动控制等独特性能．常规的红外光声气敏传感器体积较大，难以实现微型化、...
- 王建业
- 关键词：微机械
- 文献传递
- 用于火灾探测的非色散红外吸收气体传感器
- 本文利用红外吸收原理建立了红外气体传感系统,并利用此装置对CO,CO2,NH3和SO2四种火灾现场燃烧生成气体在不同浓度状态下进行了红外吸收测量,得到了气体不同浓度下红外吸收的检测结果.实验证明,对应四种以上气体,该设备...
- 纪新明吴飞蝶王建业刘全黄宜平
- 关键词：红外吸收红外传感器火灾探测
- 文献传递
- MEMS红外光源及应用被引量：9
- 2006年
- 针对传统红外光源需要另加调制部件,使得传感体系价高和笨重的不足,利用微电子工艺研制了一种用于便携式非扩散红外气体传感器的电调制红外光源,并对其辐射特性进行了测试。将光源应用于自行搭建的小型红外吸收气体传感系统中,对不同气体体积分数的CO2和SO2气体进行探测,测量精度分别达到20×10-6和50×10-6气体体积分数。重复测量偏差在10%之内,且光源辐射性能稳定,可用于多组分气体探测。
- 吴飞蝶纪新明王建业王国勋黄宜平
- 关键词：红外光源红外吸收
- 用于红外光声传感器的MEMS光源
- 本研究设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较.测试结果显示,发射光谱带在2μm～4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20Hz～40Hz之间有较好的调制度.这些特...
- 吴飞蝶纪新明王建业周嘉黄宜平刘全鲍敏杭
- 关键词：红外光源发射率气体传感器
- 文献传递
- MEMS光声气体传感器光声腔的研究被引量：8
- 2006年
- 光声气体传感器在微量气体探测方面具有许多优势,光声气体传感器的MEMS化可降低成本,提高传感器性能,具有重要的实际意义。依据光声传感器的原理,结合MEMS加工技术,研究制作了一种光声腔,同时,进行了一定的理论模拟,为实现光声气体传感器的MEMS化打下重要基础。
- 王建业纪新明吴飞蝶周嘉黄宜平
- 关键词：微机电技术
- 用于火灾探测的非色散红外吸收气体传感器被引量：11
- 2006年
- 基于朗伯-比尔吸收定律建立了便携式非色散红外气体传感体系,并成功的应用于火灾现场生成气体的实时检测。该体系利用直接电调制的红外辐射源、窄带薄膜干涉滤光片和高灵敏度的TGS热释电红外探测器,很大程度地降低了系统的成本和体积,提高了探测灵敏度。通过对CO、CO2、NH3和SO2四种火灾现场燃烧生成气体在不同浓度状态下的测量,证明系统对所测气体可以达到了几十个微量级的探测极限,响应时间均小于20s,具有较好的稳定性,能够满足一定的测量要求。
- 纪新明吴飞蝶王建业刘全黄宜平
- 关键词：红外吸收红外传感器
- 光声光谱法探测微量气体被引量：29
- 2006年
- 介绍光声光谱气体传感器的发展及应用意义,根据气体光声效应讨论了光声气体传感器的工作原理,详细分析了多种不同结构传感器的原理及优缺点。重点讨论了常用一维管状光声腔体的光声理论,并给出了数学模拟模型。根据国内外的研究现状,分析了光声气体探测系统的重难点以及可能的解决方法,并讨论了光声传感向MEMS方向发展的原因及意义。
- 王建业纪新明吴飞蝶周嘉黄宜平
- 关键词：光声光谱法气体探测微机械技术
- X射线荧光分析中X射线管原级能谱分布的测定被引量：12
- 2006年
- 确切知道X射线管激发的原级能谱分布是X射线荧光分析中的一个重要前提,所用能谱分布函数的准确度大大影响了最终的测量结果。提出利用间接测量法,选用合适的参量模型来描述X射线的原级能谱分布。依靠实验测得的厚靶纯元素样品的荧光强度,利用已知的理论公式,建立非线性方程,优化得到参量模型中的参量值。通过比较实验测得的元素的荧光强度值和利用得到的能谱分布函数计算的理论值,证明此种方法是可行的。
- 纪新明王建业贾文红朱节清黄宜平
- 关键词：X射线光学X射线荧光分析荧光强度
- 基于ISFET的生物传感器研究进展被引量：1
- 2005年
- 近年来,离子敏场效应晶体管(ISFET)在生物传感器领域的广泛研究取得了快速发展。综述了ISFET相对于传统离子电极(ISE)的优势,ISFET的工作原理,ISFET的分类和敏感膜;重点介绍了近年来国际上离子敏传感器在生物医学上的应用研究。针对ISFET存在的问题,展望了ISFET未来的研究和发展方向。
- 曾磊王建业孙晓翔杨秋冬黄宜平
- 关键词：离子敏场效应晶体管生物传感器敏感膜
- 一种可直接脉冲调制的MEMS红外激发源被引量：12
- 2005年
- 针对红外气体探测器对光源的要求,结合现有MEMS(微机电系统)工艺及与其兼容的IC工艺,研制了一种可用于红外多气体传感器的脉冲式MEMS辐射光源.该光源主要有Si3N4/SiO2的复合支撑层和铂金发热电极组成,可以产生相当于黑体300～800 K的红外辐射,在温度T＝1 106 K时有λ=2.62 μm峰值辐射波长;并且光源有足够强的辐射强度和2～15 μm红外辐射波段,能够满足大部分气体在2～14 μm波长范围内特征的吸收谱线的要求.经过对辐射元的动态测量可知,辐射源的动态调制频率可达到50 Hz,完全能够满足气体测量对所需红外光源调制频率的要求.
- 纪新明吴飞蝶王建业周嘉谢海芬黄宜平
- 关键词：红外传感微机电系统
