吴飞蝶
- 作品数：10 被引量：67H指数：5
- 供职机构：复旦大学信息科学与工程学院微电子学系更多>>
- 发文基金：上海市科委科技攻关项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程理学更多>>
- 光声光谱法探测微量气体被引量：29
- 2006年
- 介绍光声光谱气体传感器的发展及应用意义,根据气体光声效应讨论了光声气体传感器的工作原理,详细分析了多种不同结构传感器的原理及优缺点。重点讨论了常用一维管状光声腔体的光声理论,并给出了数学模拟模型。根据国内外的研究现状,分析了光声气体探测系统的重难点以及可能的解决方法,并讨论了光声传感向MEMS方向发展的原因及意义。
- 王建业纪新明吴飞蝶周嘉黄宜平
- 关键词：光声光谱法气体探测微机械技术
- 一种可直接脉冲调制的MEMS红外激发源被引量：12
- 2005年
- 针对红外气体探测器对光源的要求,结合现有MEMS(微机电系统)工艺及与其兼容的IC工艺,研制了一种可用于红外多气体传感器的脉冲式MEMS辐射光源.该光源主要有Si3N4/SiO2的复合支撑层和铂金发热电极组成,可以产生相当于黑体300～800 K的红外辐射,在温度T＝1 106 K时有λ=2.62 μm峰值辐射波长;并且光源有足够强的辐射强度和2～15 μm红外辐射波段,能够满足大部分气体在2～14 μm波长范围内特征的吸收谱线的要求.经过对辐射元的动态测量可知,辐射源的动态调制频率可达到50 Hz,完全能够满足气体测量对所需红外光源调制频率的要求.
- 纪新明吴飞蝶王建业周嘉谢海芬黄宜平
- 关键词：红外传感微机电系统
- 微机电系统红外脉冲光源调制特性的研究被引量：3
- 2006年
- 针对微机电系统热激发红外光源的动态特性,采用一种新的计算方法。即通过建立光源在不同初始温度下升温与加电时间、功率之间的关系,定量估算不同脉冲频率下辐射功率的调制深度。该方法可以计算调制深度大情况下的动态特性。就其中两个重要影响因素加电方式和发射率分别进行讨论,得到:饱和功率相同的前提下,采用恒压源供电方式相比恒流源供电和恒定功率供电响应时间更小,从而更有利于改善光源的动态调制特性;相同条件下,选择高发射率的光源材料也有利于缩短上升时间。结合计算结果,对一个微型铂金薄膜红外光源的频响特性进行了验证测试,测试结果与计算分析符合较好。
- 吴飞蝶纪新明王建业周嘉黄宜平包宗明
- 关键词：调制特性供电方式
- MEMS光声气体传感器光声腔的研究被引量：8
- 2006年
- 光声气体传感器在微量气体探测方面具有许多优势,光声气体传感器的MEMS化可降低成本,提高传感器性能,具有重要的实际意义。依据光声传感器的原理,结合MEMS加工技术,研究制作了一种光声腔,同时,进行了一定的理论模拟,为实现光声气体传感器的MEMS化打下重要基础。
- 王建业纪新明吴飞蝶周嘉黄宜平
- 关键词：微机电技术
- 用于火灾探测的非色散红外吸收气体传感器被引量：11
- 2006年
- 基于朗伯-比尔吸收定律建立了便携式非色散红外气体传感体系,并成功的应用于火灾现场生成气体的实时检测。该体系利用直接电调制的红外辐射源、窄带薄膜干涉滤光片和高灵敏度的TGS热释电红外探测器,很大程度地降低了系统的成本和体积,提高了探测灵敏度。通过对CO、CO2、NH3和SO2四种火灾现场燃烧生成气体在不同浓度状态下的测量,证明系统对所测气体可以达到了几十个微量级的探测极限,响应时间均小于20s,具有较好的稳定性,能够满足一定的测量要求。
- 纪新明吴飞蝶王建业刘全黄宜平
- 关键词：红外吸收红外传感器
- MEMS电调制红外光源
- 红外气敏传感器利用气体的特征光谱进行测量，具有优越的选择性、灵敏度和稳定性，已经得到广泛应用。然而常规的红外气敏传感器体积较大，难以实现微型化、智能化和网络化。因此采用MEMS技术研制微型化的红外气敏传感器越来越受到人们...
- 吴飞蝶
- 关键词：微电子机械红外光源调制特性红外吸收
- 文献传递
- 用于火灾探测的非色散红外吸收气体传感器
- 本文利用红外吸收原理建立了红外气体传感系统,并利用此装置对CO,CO2,NH3和SO2四种火灾现场燃烧生成气体在不同浓度状态下进行了红外吸收测量,得到了气体不同浓度下红外吸收的检测结果.实验证明,对应四种以上气体,该设备...
- 纪新明吴飞蝶王建业刘全黄宜平
- 关键词：红外吸收红外传感器火灾探测
- 文献传递
- MEMS红外光源及应用被引量：9
- 2006年
- 针对传统红外光源需要另加调制部件,使得传感体系价高和笨重的不足,利用微电子工艺研制了一种用于便携式非扩散红外气体传感器的电调制红外光源,并对其辐射特性进行了测试。将光源应用于自行搭建的小型红外吸收气体传感系统中,对不同气体体积分数的CO2和SO2气体进行探测,测量精度分别达到20×10-6和50×10-6气体体积分数。重复测量偏差在10%之内,且光源辐射性能稳定,可用于多组分气体探测。
- 吴飞蝶纪新明王建业王国勋黄宜平
- 关键词：红外光源红外吸收
- MEMS热激发红外脉冲光源被引量：3
- 2006年
- 设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较。测试结果显示,发射光谱带在2-4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20-40 Hz之间有较好的调制度。这些特性已经符合多数红外传感器的要求。
- 吴飞蝶纪新明王建业周嘉黄宜平包宗明鲍敏杭
- 关键词：红外光源发射率气体传感器
- 用于红外光声传感器的MEMS光源
- 本研究设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较.测试结果显示,发射光谱带在2μm～4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20Hz～40Hz之间有较好的调制度.这些特...
- 吴飞蝶纪新明王建业周嘉黄宜平刘全鲍敏杭
- 关键词：红外光源发射率气体传感器
- 文献传递
