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姚马

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 3篇故障检测
  • 2篇等离子刻蚀
  • 2篇实时数据
  • 2篇实时数据传输
  • 2篇数据采集
  • 2篇数据采集设备
  • 2篇数据传输
  • 2篇数据描述
  • 2篇向量
  • 2篇向量机
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀设备
  • 2篇基于密度
  • 2篇计算机
  • 2篇监控计算机
  • 2篇检测器
  • 2篇故障检测器
  • 2篇函数型数据
  • 2篇参数优化

机构

  • 4篇清华大学

作者

  • 4篇王焕钢
  • 4篇姚马
  • 2篇徐文立
  • 2篇张琳
  • 2篇肖志博

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
融合函数型数据描述的等离子刻蚀过程的故障检测方法
本发明涉及一种融合函数型数据描述的等离子刻蚀过程的故障检测方法，其步骤为：设置一包括等离子刻蚀设备、数据采集设备和监控设备的故障检测系统；数据采集设备采集等离子刻蚀设备中监控变量的历史数据和实时数据，历史数据构成训练集后...
王焕钢姚马肖志博
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融合函数型数据描述的等离子刻蚀过程的故障检测方法
本发明涉及一种融合函数型数据描述的等离子刻蚀过程的故障检测方法，其步骤为：设置一包括等离子刻蚀设备、数据采集设备和监控设备的故障检测系统；数据采集设备采集等离子刻蚀设备中监控变量的历史数据和实时数据，历史数据构成训练集后...
王焕钢姚马肖志博
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一种基于密度的参数优化单分类支持向量机故障检测方法
本发明涉及一种基于密度的参数优化单分类支持向量机故障检测方法，其包括以下步骤：1)设置一包括数据采集设备、置信水平设置模块和监控计算机的故障检测设备；2)通过数据采集设备采集生产过程中产生的正常数据，输入监控计算机，归一...
姚马王焕钢张琳徐文立
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一种基于密度的参数优化单分类支持向量机故障检测方法
本发明涉及一种基于密度的参数优化单分类支持向量机故障检测方法，其包括以下步骤：1)设置一包括数据采集设备、置信水平设置模块和监控计算机的故障检测设备；2)通过数据采集设备采集生产过程中产生的正常数据，输入监控计算机，归一...
姚马王焕钢张琳徐文立
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