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李浪林

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：广东工业大学物理与光电工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金广东省科技计划工业攻关项目广东省自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇投影光刻
  • 2篇光刻
  • 1篇套刻
  • 1篇投影光刻系统
  • 1篇投影物镜
  • 1篇物镜
  • 1篇物镜设计
  • 1篇线宽
  • 1篇模式识别
  • 1篇激光
  • 1篇激光技术
  • 1篇光技术
  • 1篇光刻系统
  • 1篇光学
  • 1篇光学传递函数
  • 1篇MTF

机构

  • 2篇广东工业大学
  • 1篇郑州铁路职业...

作者

  • 2篇雷亮
  • 2篇李浪林
  • 2篇周金运
  • 1篇王衢
  • 1篇刘新
  • 1篇袁炜

传媒

  • 1篇量子电子学报
  • 1篇应用光学

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
投影光刻系统中的掩模硅片相关识别对准技术被引量：2
2012年
分析图像相关识别中的纯相位匹配滤波器的模式识别方法,利用该滤波器的相关识别位图计算算法,及其所具有的相干峰尖锐特性与高度旋转敏感特性,分别求取得光刻套刻过程中,掩模板和硅片基板对准标记的相对平移坐标与旋转坐标的精密量化驱动值。将此算法的实施单元建立在一套成型的大面积投影光刻系统中,使得该系统的对位精度与对位效率显著地提高。
雷亮李浪林周金运王衢
关键词：激光技术光刻模式识别
亚10μm线宽的投影光刻物镜设计及其成像性能的实验测定
2014年
采用Zemax软件设计出6镜片、数值孔径为0.06、2倍缩小、以405nm半导体激光器为光源、分辨精度达5μm、视场12mm×12mm内波像差小于1/4波长、畸变小于0.005%的双远心投影光刻物镜的设计方法。将设计的物镜实物化,并对其光学传递函数(MTF)作精确的实验测定,利用所提出的MTF标准实验测量法,得到该投影物镜的成像性能达亚10μm线宽。
雷亮李浪林袁炜刘新周金运
关键词：光刻投影物镜光学传递函数MTF
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