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袁炜

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：郑州铁路职业技术学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇投影光刻
  • 1篇投影物镜
  • 1篇物镜
  • 1篇物镜设计
  • 1篇线宽
  • 1篇光刻
  • 1篇光学
  • 1篇光学传递函数
  • 1篇MTF

机构

  • 1篇广东工业大学
  • 1篇郑州铁路职业...

作者

  • 1篇雷亮
  • 1篇李浪林
  • 1篇周金运
  • 1篇刘新
  • 1篇袁炜

传媒

  • 1篇应用光学

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
亚10μm线宽的投影光刻物镜设计及其成像性能的实验测定
2014年
采用Zemax软件设计出6镜片、数值孔径为0.06、2倍缩小、以405nm半导体激光器为光源、分辨精度达5μm、视场12mm×12mm内波像差小于1/4波长、畸变小于0.005%的双远心投影光刻物镜的设计方法。将设计的物镜实物化,并对其光学传递函数(MTF)作精确的实验测定,利用所提出的MTF标准实验测量法,得到该投影物镜的成像性能达亚10μm线宽。
雷亮李浪林袁炜刘新周金运
关键词：光刻投影物镜光学传递函数MTF
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