王智浩
- 作品数：9 被引量：4H指数：1
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- 一种薄膜太阳能电池及其制作方法
- 一种薄膜太阳能电池及其制作方法，属于太阳能利用技术领域，解决现有薄膜太阳能电池的陷光效率低或成本高的问题。本发明薄膜太阳能电池片，由衬底层、光吸收层和覆盖层构成，覆盖层上表面或衬底层下表面、或者覆盖层上表面和衬底层下表面...
- 王智浩刘文左强孙堂友官成钢徐智谋赵彦立
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- 一种薄膜太阳能电池及其制作方法
- 一种薄膜太阳能电及其制作方法，属于太阳能利用技术领域，解决现有薄膜太阳能电池的陷光效率低或成本高的问题。本发明薄膜太阳能电池片，由衬底层、光吸收层和覆盖层构成，覆盖层上表面或衬底层下表面、或者覆盖层上表面和衬底层下表面随...
- 王智浩刘文左强孙堂友官成钢徐智谋赵彦立
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- 一种可提高图形深宽比的纳米压印方法及其产品
- 本发明公开了一种可提高图形深宽比的纳米压印方法，包括：（a）软、硬模板的准备步骤；（b）对半导体基片清洗干燥处理后在其表面上涂覆底胶并执行固化处理，接着在该底胶层上镀上硬掩膜层且底胶层与硬掩膜层之间的刻蚀选择比为10以上...
- 王智浩刘文孙堂友左强
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- 光纤光栅测温系统及多点测温系统
- 本实用新型属于温度测量领域，涉及一种光纤光栅温度传感系统，包括测温传感头和FBG测温控制仪，FBG测温控制仪的SLED光源发射的宽谱光通过第一光纤方向耦合器之后进入测温传感头，所述测温传感头受外部温度的变化而改变周期进而...
- 刘文王智浩李婧娟文涛彭定敏
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- 一种可提高图形深宽比的纳米压印方法及其产品
- 本发明公开了一种可提高图形深宽比的纳米压印方法，包括：（a）软、硬模板的准备步骤；（b）对半导体基片清洗干燥处理后在其表面上涂覆底胶并执行固化处理，接着在该底胶层上镀上硬掩膜层且底胶层与硬掩膜层之间的刻蚀选择比为10以上...
- 王智浩刘文孙堂友左强
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- 用多层掩模去除纳米压印工艺中的残胶被引量：1
- 2013年
- 纳米压印工艺中的压印胶在固化后会发生聚合物的铰链,生成高分子聚合物,很难被一般有机溶剂清除,从而影响器件的性能。为有效去除压印残胶,提出一种利用多层掩模去除残胶的方法。该方法首先在基片和压印胶之间沉积一层50nm的二氧化硅作为硬掩模;接着用纳米压印工艺将光栅图形转移到压印胶上,再用干法刻蚀将光栅图形转移到基片上;最后,放入BOE(buffered oxide etchant)中漂洗数秒以去除残胶。文中总结了刻蚀底胶时间对光栅占空比的影响,对比了经过多层掩模去残胶和传统去残胶的方法处理后的光栅形貌。电镜图片结果显示,采用本文方法经过漂洗的光栅表面残胶去除干净,形貌良好,其周期约为240nm,深度约为82nm。实验表明,多层掩模去残胶的方法不仅能够有效地去除刻蚀残胶,同时能够避免光栅形貌的损坏。
- 陈鑫赵建宜王智浩王磊周宁刘文
- 关键词：纳米压印技术分布反馈激光器软模板
- 纳米压印配套工艺研究及其在LED制造工艺中的应用
- 伴随光电行业的发展，纳米尺度光子学的应用越来越广泛，光电子器件的特征尺寸越来越小，图形的复杂化程度也逐步提升。纳米压印以其成本低、分辨率高、生产效率高且图形制作灵活性强的优势而成为微钠制造领域最受关注的研究热点。 本论...
- 王智浩
- 关键词：发光二极管出光效率
- 光纤光栅测温系统及多点测温方法
- 本发明属于温度测量领域，涉及一种光纤光栅温度传感系统，包括测温传感头和FBG测温控制仪，FBG测温控制仪的SLED光源发射的宽谱光通过第一光纤方向耦合器之后进入测温传感头，所述测温传感头受外部温度的变化而改变周期进而改变...
- 刘文王智浩李婧娟文涛彭定敏
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- GaN基LED图形衬底的性能研究被引量：1
- 2013年
- 蓝宝石图形衬底可以降低外延位错密度并增强背散射光,已经成为制备高亮LED有效技术手段。本研究运用时域有限差分(FDTD)法模拟和比较了GaN基微纳米图形衬底LED几种衬底图形结构对光的提取效率的影响。模拟结果显示纳米图形衬底(NPSS)对光效的提高明显优于微米图形衬底(MPSS)。在对圆柱、圆孔、圆台、圆锥和曲面锥等纳米结构的研究中,圆台柱结构的纳米图形衬底对光提取效果最好。通过进一步模拟优化,得到圆台结构的最佳参数,此时相对于普通衬底LED光的提取效率提高了96.6%。试验中,采用软模压印技术在蓝宝石基片上大面积制备出纳米圆台图形衬底,并测得外延生长GaN层后的外延片的PL强度增加了8倍,可见纳米图形衬底对提高LED的出光效率有显著效果。
- 李程程徐智谋孙堂友王智浩王双保张学明彭静
- 关键词：GAN基LEDFDTD图形衬底纳米压印
