谢飞
- 作品数：11 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种用于接近式纳米光刻双光栅自动对准系统
- 一种用于接近式纳米光刻双光栅自动对准系统，由光路部分、图像处理和电路控制部分组成；光路部分包括激光光源、透镜组、掩模、硅片、掩模光栅、硅片光栅、分光镜、物镜、CCD图像探测器；激光经过透镜组后形成均匀准直的平行光，透过两...
- 徐锋胡松罗正全周绍林陈旺富李金龙谢飞李兰兰盛壮
- 文献传递
- 一种用于投影光刻纳米量级自动调焦系统
- 本发明是一种用于投影光刻纳米量级自动调焦系统，由光路、图像处理模块、电路控制模块组成。光路包括准直激光束、两个光栅标记、四个透镜、硅片台、CCD图像探测器；准直激光束垂直照明一光栅标记，并沿着一、二透镜的光轴对硅片台表面...
- 徐锋胡松罗正全周绍林陈旺富李金龙谢飞李兰兰盛壮
- 基于模糊PID的光刻机同步扫描控制被引量：1
- 2011年
- 基于模糊PID控制理论,介绍了步进扫描光刻机中工件台同步扫描的控制方法,并简要介绍了相关的控制理论基础知识,详细阐述了模糊控制器的制作过程和模糊规则的制定方法。另外针对同步扫描控制的难点,简要介绍了步进扫描光刻机的同步扫描过程,而且建立了同步运动的执行器直线电机的仿真模型。采用模糊PID理论对同步扫描系统进行控制策略研究,仿真实验表明,硅片台稳态误差及掩膜台稳态误差能够快速衰减达到稳定状态,而同步误差的精度也能达到微米级别。这种方案具有较好的动态特性及鲁棒性,同步误差较小,有望满足高精度同步扫描的要求。
- 盛壮唐小萍胡松李兰兰谢飞李金龙徐锋
- 关键词：双直线电机模糊PID控制SIMULINK光刻
- 一种单幅封闭条纹相位提取方法
- 一种单幅封闭条纹相位提取方法，包括步骤：条纹图像噪声滤波、通过小波脊提取相位和移除符号不确定性，其中相位提取方法中通过构造具有很好的尺度和角度方向选择性的二维解析小波函数，能同时对封闭条纹进行滤波和相位提取。本发明能更好...
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- 一种用于投影光刻纳米量级自动调焦系统
- 本发明是一种用于投影光刻纳米量级自动调焦系统，由光路、图像处理模块、电路控制模块组成。光路包括准直激光束、两个光栅标记、四个透镜、硅片台、CCD图像探测器；准直激光束垂直照明一光栅标记，并沿着一、二透镜的光轴对硅片台表面...
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- 文献传递
- 一种适用于投影光刻系统的检焦系统
- 一种适用于投影光刻系统的检焦系统包括：光弹调制系统，对称成像系统，光栅调制系统，偏振调制系统以及光电探测系统，通过光栅以及偏振调制系统将被测面的偏移量转换成信号光的相对强弱变化，应用光弹调制系统来提高信噪比，从而获得高精...
- 陈旺富胡松严伟陈铭勇周绍林徐锋李金龙谢飞
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- 一种单幅封闭条纹相位提取方法
- 一种单幅封闭条纹相位提取方法，包括步骤：条纹图像噪声滤波、通过小波脊提取相位和移除符号不确定性，其中相位提取方法中通过构造具有很好的尺度和角度方向选择性的二维解析小波函数，能同时对封闭条纹进行滤波和相位提取。本发明能更好...
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- 文献传递
- 一种适用于投影光刻系统的检焦系统及检焦方法
- 一种适用于投影光刻系统的检焦系统包括：光弹调制系统，对称成像系统，光栅调制系统，偏振调制系统以及光电探测系统，通过光栅以及偏振调制系统将被测面的偏移量转换成信号光的相对强弱变化，应用光弹调制系统来提高信噪比，从而获得高精...
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- 基于双相锁相放大原理的检焦装置的检焦方法
- 本发明是基于双相锁相放大原理的检焦装置的检焦方法，是利用光弹调制装置、光强调制器、光电探测器、四个放大电路、带通滤波电路、四个乘法电路、两个低通滤波电路、两个加法电路和开方电路；光电探测器输出的电信号为背景噪声下经高频载...
- 谢飞唐小萍胡松严伟
- 文献传递
- 纳米检焦中双相锁相放大器的Simulink建模与仿真被引量：1
- 2010年
- 针对纳米量级实时检焦技术中光电探测器输出的微弱电信号,提出利用双相锁相放大原理对该信号进行在线检测、放大、滤波及解调,经过一系列处理后得到硅片的实时离焦量,以确定其是否在有效焦深范围内,保证曝光质量。主要利用Matlab的Simulink工具包对这一方案的可行性进行了仿真验证。从仿真结果可以看出,基于双相锁相放大器的双相锁相放大技术能够很好地提取出硅片离焦量信号,且无需依赖移相器。该方法相对传统方法而言,能够更精确地获取硅片离焦量,有利于大幅度提高检焦精度,同时也为今后的实用化奠定了理论基础。
- 谢飞唐小萍胡松严伟
- 关键词：SIMULINK离焦量
