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杨冠东
杨冠东
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中国科学院半导体研究所
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合作作者
李京波
中国科学院半导体研究所
朱峰
中国科学院半导体研究所
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作者
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杨冠东
1篇
朱峰
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李京波
年份
1篇
2011
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制备Mn掺杂InP:Zn基稀磁半导体的方法
一种制备InMnP:Zn稀磁半导体的方法,采用真空镀膜后热扩散工艺,具体包括以下步骤:步骤1:将一衬底在煮沸的浓盐酸中进行化学腐蚀清洗,然后用去离子水反复冲洗5遍;步骤2:将衬底用氮气吹干,然后迅速置于真空镀膜机,并使之...
杨冠东
朱峰
李京波
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