您的位置: 专家智库 > >

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇硅薄膜
  • 1篇钝化
  • 1篇钝化膜
  • 1篇氧化硅薄膜
  • 1篇折射率
  • 1篇气体放电
  • 1篇微量氧
  • 1篇污染
  • 1篇芯片
  • 1篇离子污染
  • 1篇辉光
  • 1篇辉光放电
  • 1篇光敏
  • 1篇放电
  • 1篇非晶硅

机构

  • 2篇西南技术物理...

作者

  • 2篇罗成思
  • 2篇曾璞
  • 2篇刘从吉
  • 1篇王鸥
  • 1篇苏洁梅
  • 1篇刘小会
  • 1篇周小燕
  • 1篇柯尊贵
  • 1篇赖冬寅
  • 1篇周红轮
  • 1篇胡卫英
  • 1篇袁菲

年份

  • 2篇2013
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
光敏芯片钝化结构
本实用新型提出的一种光敏芯片钝化结构,旨在提供一种减少干扰,合格率高,易于实现的硅基探测器的光敏芯片钝化结构。本实用新型通过下述技术方案予以实现:硅基探测器的光敏芯片钝化结构,包括光刻保留在工艺芯片表面的氧化硅钝化膜,氧...
王鸥邱月瓴曾璞刘小会周红轮胡卫英刘从吉罗成思
文献传递
非晶硅光学薄膜折射率调节方法
本发明提出的一个非晶硅薄膜折射率的调节方法,简单可行,折射率可调节范围较大,精度易于控制。本发明可以通过下述技术方案予以实现:在采用化学气相沉积PECVD硅烷辉光放电制备非晶硅薄膜中,平行板结构装置衬底放在具有温控装置的...
曾璞周小燕苏洁梅刘从吉陈逢彬赖冬寅柯尊贵罗成思袁菲
文献传递
共1页<1>
聚类工具0