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罗成思
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2
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西南技术物理研究所
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合作作者
刘从吉
西南技术物理研究所
曾璞
西南技术物理研究所
袁菲
西南技术物理研究所
胡卫英
西南技术物理研究所
周红轮
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罗成思
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年份
2篇
2013
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光敏芯片钝化结构
本实用新型提出的一种光敏芯片钝化结构,旨在提供一种减少干扰,合格率高,易于实现的硅基探测器的光敏芯片钝化结构。本实用新型通过下述技术方案予以实现:硅基探测器的光敏芯片钝化结构,包括光刻保留在工艺芯片表面的氧化硅钝化膜,氧...
王鸥
邱月瓴
曾璞
刘小会
周红轮
胡卫英
刘从吉
罗成思
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非晶硅光学薄膜折射率调节方法
本发明提出的一个非晶硅薄膜折射率的调节方法,简单可行,折射率可调节范围较大,精度易于控制。本发明可以通过下述技术方案予以实现:在采用化学气相沉积PECVD硅烷辉光放电制备非晶硅薄膜中,平行板结构装置衬底放在具有温控装置的...
曾璞
周小燕
苏洁梅
刘从吉
陈逢彬
赖冬寅
柯尊贵
罗成思
袁菲
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