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王向朝
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827
被引量:1,352
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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中国科学院上海光学精密机械研究...
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微小转角干涉测量仪
一种微小转角干涉测量仪,其结构是:一调制光源由调制驱动电源驱动,在该调制光源发出的光束的前进方向上依次放置有光束准直系统、光束缩束系统和分光元件,在该分光元件的第一出射光束前进方向上经第一反光镜,进入第一测量臂组件,在所...
郑德锋
王向朝
文献传递
光栅剪切干涉高精度投影物镜波像差检测方法
光栅剪切干涉高精度投影物镜波像差检测方法,该方法采用的光栅剪切干涉仪系统包含:光学及照明系统、待测光学成像系统、物面衍射光栅版、像面衍射光栅版、二维光电传感器和计算处理单元。物面衍射光栅版和像面衍射光栅版分别置于待测光学...
卢云君
李中梁
王向朝
单光源激振测振谐振传感器
一种单光源激振测振谐振传感器,其结构包括:由第一驱动电源驱动的带有温度控制器的光源,沿该光源出射光前进方向依次通过光纤段连接的隔离器、耦合器、固定着正弦相位调制装置的准直器,准直器出射光方向有一谐振器,正弦相位调制装置由...
李中梁
王向朝
刘英明
王少卿
文献传递
使用相位共轭光精密测量粗糙面物体的振动振幅
被引量:6
2000年
提出了一个用于测量粗糙面物体振动振幅的自抽运相位共轭干涉仪。粗糙面反射光的波前失真由相位共轭修复。用这个干涉仪测量了一个有粗糙表面的不锈钢片的振动振幅分布。
王向朝
佐々木修己
菊地崇朗
铃木孝昌
于丹阳
王学锋
方祖捷
基于横向剪切干涉结构的光学元件面形的测量方法
一种基于横向剪切干涉结构的光学元件面形的测量方法,测量系统包括光源、显微物镜、小孔光阑、准直物镜、剪切平板、光电探测器和计算机,测量时将待测光学元件置于准直物镜之后,并使光轴穿过待侧面的中心,测量步骤如下:①获取x方向和...
戴凤钊
唐锋
王向朝
张敏
复合光源实时微振动干涉测量仪
被引量:5
2004年
提出了一种新的实时微振动激光干涉测量仪。通过采用复合光源和反馈系统 ,有效地消除了激光二极管 正弦相位调制 (LD SPM )干涉仪中由电流调制所带来的测量误差和外界干扰所带来的影响 。
李代林
王向朝
王学锋
郭立萍
刘英明
极紫外光刻掩模衍射谱的快速仿真方法
一种极紫外光刻掩模衍射谱快速仿真方法,将掩模整体看作一个多层膜结构,划分为有吸收层覆盖区域和无吸收层覆盖区域。在斜入射情况下,基于等效膜层法计算两种区域膜层复反射系数,采用基尔霍夫近似计算掩模衍射谱。本发明方法可以快速仿...
胡少博
李思坤
唐明
王向朝
张子南
文献传递
精确测量1/4波片相位延迟量的新方法
被引量:23
2006年
提出了一种精确测量1/4波片相位延迟量的新方法。测量光路由激光器、起偏器、被测1/4波片、光弹调制器、检偏器和光电探测器构成。起偏器和检偏器的透光轴相互垂直。被测1/4波片的快轴与光弹调制器的振动轴平行,且与起偏器和检偏器的透光轴分别成±45°夹角。准直激光束依次经过起偏器、被测1/4波片、光弹调制器和检偏器的探测光强由光电探测器接收。利用探测信号的直流分量与二次谐波分量精确计算出被测1/4波片的相位延迟量。实验验证了这种测量方法的有效性,改变初始光强过程中相位延迟量测量结果的复现性为0.012°,检偏器、被测1/4波片的方位角变化1°的过程中相位延迟量测量结果的复现性为0.008°。
胡建明
曾爱军
王向朝
关键词:
偏振
1/4波片
提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法
一种提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法,通过合理地选择正弦相位调制深度,从原理上消除了光源的光强调制引起的系统误差,减小了电路中的直流噪声引起的随机误差,提高了振动测量精度。
李中梁
王向朝
王渤帆
文献传递
皮肤光学相干层析图像配准的方法
一种皮肤光学相干层析图像的配准方法,首先对采集的两组快速扫描方向正交的光学相干层析三维数据集进行预处理,再利用多层分辨率法与梯度优化法对两组数据集进行先纵向后整体的两步配准,消除运动伪影。完成配准后,将两组三维数据集进行...
曹毅
李中梁
南楠
张茜
何东航
王向朝
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