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卢云君
作品数:
72
被引量:28
H指数:5
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
机械工程
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合作作者
王向朝
中国科学院大学
唐锋
中国科学院上海光学精密机械研究...
郭福东
中国科学院上海光学精密机械研究...
刘洋
中国科学院上海光学精密机械研究...
冯鹏
中国科学院上海光学精密机械研究...
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提高检测速度的投影物镜波像差检测装置及检测方法
一种投影物镜波像差检测装置及检测方法,该投影物镜波像差检测装置包括光源及照明系统、物面光栅、物面位移台、被测投影物镜、像面光栅、二维光电传感器、像面位移台和控制处理单元。本发明通过物面光栅采用周期增大1倍的振幅相位混合光...
唐锋
王向朝
彭常哲
刘洋
卢云君
文献传递
平面面形子孔径拼接干涉测量装置与测量方法
一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置与测量方法,测量装置包括:平面干涉仪,平面干涉仪支架,安装平台,XY二维运动拼接位移台,俯仰偏摆角二维调节台,偏摆角测量系统,俯仰角测量系统,被测平面光学元件;本发明在平面面形子孔径拼接...
唐锋
卢云君
王向朝
郭福东
对光强波动不敏感的投影物镜波像差检测装置与检测方法
一种对光强波动不敏感的投影物镜波像差检测装置及检测方法,该装置包括光源及照明系统、物面标记板、物面位移台、被测投影物镜、像面标记板、二维光电传感器、像面位移台和控制处理单元;本发明的物面标记板及像面标记板具有用于剪切干涉...
唐锋
王向朝
卢云君
彭常哲
刘洋
文献传递
基于深度神经网络的单幅干涉图波前质量参数读取方法
一种基于深度神经网络的单幅干涉图波前质量参数读取方法。光学车间利用干涉仪获取干涉图,通过人工判读法、条纹跟踪法、傅里叶变换法和相移法从干涉图中获取PV值、RMS值等波前质量参数。但人工判读法依赖检测人员的经验,不利于加工...
李佳翰
唐锋
王向朝
卢云君
文献传递
一种锥形镜锥角的检测装置和方法
一种锥形镜的锥角检测装置,包括干涉仪,球面标准镜,五维调整架,精密移动台,精密位移测量传感器;从所述的干涉仪输出的平面波方向依次是同光轴的球面标准镜,待测锥形镜和精密位移测量传感器;所述待测锥形镜固定在所述五维调整架上,...
严焱
唐锋
王向朝
卢云君
彭常哲
董冠极
文献传递
双光栅朗奇剪切干涉高精度相位提取方法
一种双光栅朗奇剪切干涉高精度相位提取方法,该方法基于双光栅朗奇剪切干涉仪。干涉仪结构包含:光源及照明系统、物面衍射光栅板、像面衍射光栅板、二维光电传感器和计算处理单元。在被测光学成像系统的物平面和像平面分别放置物面衍射光...
常春超
李中梁
卢云君
锥形镜柱面镜面形的测量装置及测量方法
一种锥形镜柱面镜面形测量装置及测量方法,测量装置包括波面测量干涉仪、干涉仪支架、精密旋转台和转台实时测量系统,所述的波面测量干涉仪安装在干涉仪支架上;所述的转台实时测量系统包含辅助测量圆柱体和5个精密位移测量传感器。本发...
严焱
唐锋
王向朝
卢云君
彭常哲
董冠极
文献传递
双侧多重平面倾斜波面干涉仪及其检测方法
一种双侧多重平面倾斜波面干涉仪,系统包括光源模块、第一干涉仪主机、第二干涉仪主机、双面标准平板、双面标准平板调整架、被测非透明平板元件、单点厚度测量传感器、控制处理单元;所述的第一干涉仪主机和第二干涉仪主机均为多重平面倾...
唐锋
王向朝
郭福东
卢云君
文献传递
平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法
一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法,装置包括干涉仪、干涉仪拼接位移台、干涉仪倾斜调整台、被测件拼接位移台、被测件倾斜调整台、被测件,支撑平台及控制系统。本发明具有子孔径定位精度高、测量精度高和全自动测量的优点。
唐锋
卢云君
郭福东
王向朝
张国先
大口径凸锥镜面形检测系统及检测方法
一种大口径凸锥镜面形拼接检测装置及检测方法,检测装置包含:波面测量干涉仪、干涉仪支架、平面标准镜、计算全息片、供待测凸锥镜放置的工件台;波面测量干涉仪安装在干涉仪支架上,工件台能够垂直于波面测量干涉仪光轴方向的360度旋...
卢云君
唐锋
王向朝
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