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郭其新
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冀子武
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黄树来
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一种碲化锌/砷化镓异质外延层的制备方法
一种碲化锌/砷化镓(ZnTe/GaAs)异质外延层的制备方法,属半导体材料制备技术领域,采用金属有机化学气相外延工艺,以二甲基锌和二乙基碲为金属有机源,用氢气作为载气,用金属有机化学气相外延设备在砷化镓衬底上生长碲化锌外...
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一种碲化锌同质外延层的制备方法
一种碲化锌(ZnTe)同质外延层的制备方法,属半导体材料制备技术领域,采用低压金属有机化学气相外延工艺,以二甲基锌和二乙基碲为金属有机源,用氢气作为载气,用低压金属有机化学气相外延设备在ZnTe(100)衬底上生长碲化锌...
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