刘英明
- 作品数:34 被引量:15H指数:3
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金上海市科委国际合作基金上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域:机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 一种硅微机械谐振器的单光源激振测振方法被引量:1
- 2006年
- 提出一种用于硅微机械谐振传感器研究的单光源激振测振新方法,即微谐振器的激励及其谐振信号的测量使用同一光源。该方法采用全光纤斐索干涉仪结构,将干涉信号与光源强度变化信号进行运算后,通过选频技术解调出谐振器的振动信息,同时采用贝塞耳函数比值法扩大了振动幅度的测量范围,省去了一些难以获得准确数值的工作参数的计算。采用该方法实现了微悬臂梁结构形式的谐振器件的单光源激振与测振,获得了器件的谐振频率约为8.81kHz以及谐振状态下的振动幅度约为135nm。实验结果与采用其他双光源激振测振方法基本一致,新方法的可行性得到了验证。
- 刘英明王向朝
- 关键词:光学检测
- 硅微机械自谐振传感装置
- 一种硅微机械自谐振传感装置,包括光源,沿光源发射光前进方向同光轴地依次置放通过保偏光纤与光源连接的准直器、偏振变换器、参考平板与谐振器。光源为半导体激光器。光源的工作电流通过直流电源控制,使得光源的光注入光强调制度最大,...
- 刘英明王向朝
- 文献传递
- 微位移实时干涉测量仪
- 一种微位移实时干涉测量仪,其特点是它包括:带有第一直流电源的光源,在该光源发射光束前进方向上同光轴地依次置有第一透镜、偏振分束器、分束器、参考平板和被测物体;在该分束器的反射光束f<Sub>2</Sub>方向置有接收元件...
- 王向朝李代林刘英明
- 文献传递
- 单光源激振测振谐振传感器
- 一种单光源激振测振谐振传感器,其结构包括:由第一驱动电源驱动的带有温度控制器的光源,沿该光源出射光前进方向依次通过光纤段连接的隔离器、耦合器、固定着正弦相位调制装置的准直器,准直器出射光方向有一谐振器,正弦相位调制装置由...
- 李中梁王向朝刘英明王少卿
- 文献传递
- 复合光源实时微振动干涉测量仪被引量:5
- 2004年
- 提出了一种新的实时微振动激光干涉测量仪。通过采用复合光源和反馈系统 ,有效地消除了激光二极管 正弦相位调制 (LD SPM )干涉仪中由电流调制所带来的测量误差和外界干扰所带来的影响 。
- 李代林王向朝王学锋郭立萍刘英明
- 单光源激振测振谐振传感器
- 一种单光源激振测振谐振传感器,其结构包括:由第一驱动电源驱动的带有温度控制器的光源,沿该光源出射光前进方向依次通过光纤段连接的隔离器、耦合器、固定着正弦相位调制装置的准直器,准直器出射光方向有一谐振器,正弦相位调制装置由...
- 李中梁王向朝刘英明王少卿
- 文献传递
- 双波长纳米精度实时干涉测量仪
- 一种双波长纳米精度实时干涉测量仪,适用于静态位移的测量。包括两个波长不相等的带有驱动电源和温度控制器的光源。光源发射光束的传输路径全部在光纤、合波元件和光纤耦合器内进行。两驱动电源之间连接有控制初始相位相同的触发控制器。...
- 王学锋王向朝刘英明钱锋
- 文献传递
- 纳米精度激光激振测振仪
- 王向朝步扬刘英明王学锋李代林钟向红陈高庭张彩妮何国田
- 纳米精度激光激振测振仪研发一种用于MEMS结构德纳米精度激光激振测振技术。该技术采用光纤调制激光驱动技术使MEMS结构产生振动:采用国际前沿的光学正弦相位调制干涉技术测量其振动,同时采用实时鉴相技术、反馈技术提高系统的抗...
- 关键词:
- 关键词:测振仪
- 正弦相位调制位移干涉测量技术中调制频率的优化选择被引量:3
- 2006年
- 针对正弦相位调制(SPM)干涉测量技术用于位移测量时,调制频率对干涉信号相位解调的影响,提出一种调制频率的优化选择依据.通过对干涉信号的频谱进行分析,发现当被测位移幅度较小时,较小的调制频率即可满足相位解调的要求;而当被测位移较大时,必须相应地增大调制频率,才能获得比较准确的测量结果.模拟计算以及实验结果表明,被测位移信号的幅度每增大四分之一测量光源波长,调制频率需要相应增大4倍于被测信号频率的大小,才能满足正弦相位调制位移干涉测量技术信号处理的需要.
- 刘英明王向朝
- 关键词:正弦相位调制调制频率频谱分析
- 基于工业CCD的高速图像传感系统
- 一种基于工业CCD的高速图像传感系统,特点是其结构为:在具有可调驱动电路与外围电路的低速CCD的光敏面前紧贴放置一个可调光阑,所述的CCD的输出端顺次连接去噪声电路和模数转换电路。通过光阑控制CCD光敏区的曝光区域,通过...
- 王向朝何国田唐锋刘英明
- 文献传递