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雷秀云

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供职机构：中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇钛酸
  • 2篇钛酸锶
  • 1篇调谐
  • 1篇致密
  • 1篇致密度
  • 1篇氩气
  • 1篇温度调制
  • 1篇结晶度
  • 1篇晶粒
  • 1篇晶粒生长
  • 1篇溅射
  • 1篇硅器件
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇王根水
  • 2篇李魁
  • 2篇雷秀云
  • 2篇董显林
  • 1篇李涛
  • 1篇陈莹

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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一种钛酸锶铅薄膜的制备方法及制备的钛酸锶铅薄膜
一种钛酸锶铅薄膜的制备方法及制备的钛酸锶铅薄膜，所述方法是在具有底电极的衬底上利用原位射频磁控溅射的方法制备钛酸锶铅薄膜，在制备薄膜过程中将衬底温度加热到200-500℃，使溅射和薄膜的结晶在所述衬底温度下进行以制备所述...
王根水李魁董显林雷秀云李涛陈莹
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一种具有高调谐率的钛酸锶铅铁电薄膜及其制备方法
本发明提供一种具有高调谐率的钛酸锶铅铁电薄膜及其制备方法，所述方法是在具有衬底的底电极上利用非原位射频磁控溅射的方法制备钛酸锶铅铁电薄膜，通过改变磁控溅射过程中通入的氧气和氩气的比例为0～50%以制备具有不同致密度和不同...
王根水李魁董显林雷秀云
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