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唐盼盼
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1
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哈尔滨工程大学信息与通信工程学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王颖
哈尔滨工程大学信息与通信工程学...
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王颖
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唐盼盼
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OB LDMOS器件的性能研究
2012年
研究了一种具有OB(Oxide By-passed)结构的SOI LDMOS器件,分析了该器件的耐压机理以及结构特点,并通过SILVACO TCAD软件对该结构进行三维数值仿真。通过仿真验证可知,该结构通过类超结(SJ)电场调制技术获得了与超结器件类似的性能,该结构与SJ LDMOS在相同的尺寸情况下尽管耐压相同,但导通电阻从3.81mΩ.cm2降低到1.96mΩ.cm2,同时克服了SJ LD-MOS器件制造工艺上高深宽比以及电荷浓度难易精确匹配的缺陷。
唐盼盼
王颖
关键词:
SOI结构
导通电阻
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