刘志杰
- 作品数：24 被引量：32H指数：3
- 供职机构：复旦大学信息科学与工程学院电子工程系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信化学工程机械工程更多>>
- 添加氧影响下低压金刚石生长的条件被引量：4
- 1998年
- 采用非平衡热力学耦合模型研究金刚石在ＣＯ－Ｈ２、ＣＯ－Ｏ２－Ｈ２体系中的生长情况，计算不同氧含量下的金刚石生长相图，固定氧氢比考察压力变化对金刚石生长区的影响，讨论了不同氧氢含量对金刚石生长区的影响．与经典的平衡热力学理论计算所得的相图不同，本文的相图均有金刚石生长区，可以很好地解释低压下金刚石在气相中的生长，还可以用于指导低压金刚石生长的实验研究．
- 刘志杰万永中张卫张剑云王季陶
- 关键词：相图金刚石低压
- 含氟气相体系低压生长金刚石的相图计算
- 1999年
- 根据非平衡热力学耦合模型计算得到了C—H—F体系金刚石生长相图,该相图与根据经典平衡热力学计算得到的平衡相图不同,存在金刚石生长区,可以很好地解释在低压C—H—F体系中可以生长金刚石,并与实验结果符合良好。因而对该体系金刚石制备的实验条件选取有指导作用.
- 刘志杰张卫张剑云丁士进王季陶
- 关键词：金刚石气相生长低压相图
- 低介电常数含氟氧化硅薄膜的研究被引量：11
- 2000年
- 综述了近十年来低介电常数含氟氧化硅薄膜的研究状况 ,详细介绍了该薄膜在化学键结构、热性质、湿稳定性以及介电常数四个方面的特性 ,同时也简单介绍了薄膜的台阶覆盖度、填隙能力和漏电流特性 ,指出含氟氧化硅薄膜是一种可用于集成电路中的极富应用前景的低介电常数材料。
- 丁士进张卫王鹏飞张剑云刘志杰王季陶
- 关键词：低介电常数硅薄膜氧化硅漏电流覆盖度热性质
- 全文增补中
- C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图计算被引量：1
- 1998年
- 用非平衡热力学耦合模型计算得到了C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图，并与报道的实验结果符合很好．比起C-H体系生长金刚石的相图，该相图中的金刚石生长区明显移向低温方向，说明加入氯有利于降低金刚石的生长温度．通过化学反应机理的分析探讨了加入氯对金刚石生长温度和生长速率的影响．
- 刘志杰张卫万永中王季陶
- 关键词：金刚石相图
- 碳氢氧体系低压金刚石非平衡定态系列相图
- 1999年
- 在碳氢体系金刚石薄膜制备取得巨大成功的同时，人们开始寻找新的原料气体来制备金刚石以改善薄膜的质量和试图降低金刚石薄膜的淀积温度并提高淀积速率。首先被人们采用的是一些含氧的化合物和氢气的混合气体作原料制备金刚石，少量氧的存在不仅改善了金刚石薄膜的质量，...
- 刘志杰张卫万永中张剑云王秀陶
- 关键词：相图金刚石薄膜低压
- 非平衡定态相图在含氮体系低压金刚石沉积中的应用
- 1999年
- ０前言最近几年低压金刚石制备研究中，出现了一类以含氮气相混合物为原料的制备方法，正逐渐被人们所重视：少量氮原子的存在（甚至是ｐｐｍ级）可以显著提高金刚石薄膜的淀积速率，改善薄膜质量［１，７］。本文报道根据非平衡热力学耦合理论［１０］，首次计算得到了含...
- 刘志杰张卫张剑云丁士进王鹏飞王季陶
- 关键词：金刚石非平衡定态相图
- 非平衡定态相图在激活低压气相生长金刚石中的应用
- 碳的平衡相图是人们所熟悉的,但它却不能解释在激活条件下低压气相生长金刚石薄膜的实验现象。本文介绍了非平衡热力学耦合模型,并从热力学角度解释了激活低压金刚石生长的现象。该模型用于激活低压金刚石的生长,可计算得到低压下生长金...
- 万永中刘志杰张卫王季陶
- 关键词：相图金刚石非平衡定态
- 文献传递
- 非平衡定态相图在CVD低压金刚石生长过程中的应用
- 寻找合理的理论方法对金刚石的低压生长过程进行定量化的研究是人们一直关注的课题.王季陶等人在1990年提出了非平衡热力学耦合模型(早期称化学泵模型),认为在常温常压下,石墨不能自发转变成金刚石.利用该模型工作者得到了一类全...
- 刘志杰
- 关键词：非平衡定态相图化学气相淀积金刚石薄膜热力学
- 氯参与的化学气相淀积金刚石的热力学分析被引量：1
- 1999年
- 用非平衡热力学耦合模型研究了金刚石在ＣＨＣｌ体系中的生长，计算所得ＣＨＣｌ体系的金刚石生长的相图与大量实验结果符合良好．
- 刘志杰张卫张剑云万永中王季陶曹传宝朱鹤孙
- 关键词：氯金刚石化学气相淀积热力学
- 金刚石低压气相生长的驱动力
- 1997年
- 以CH4／H2体系为例，研究了气相生长金刚石和石墨的驱动力随温度和CH4的摩尔分数的变化情况若不考虑超平衡氢原子的作用，则石墨的生长驱动力总是大于金刚石的生长驱动力；如考虑超平衡氢原子的作用，则在一定的温度和CH4摩尔分数条件下，生长金刚石的驱动力将大于零且生长石墨的驱动力小于零。结果表明，此时气相中碳的化学势高于金刚石的化学势而低于石墨的化学势因此，气相中将只生长金刚石而不生长石墨，甚至出现金刚石生长的同时石墨被腐蚀的现象。
- 张卫万永中刘志杰王季陶
- 关键词：金刚石气相生长化学势低压石墨
