郑英彬 作品数:40 被引量:72 H指数:6 供职机构: 中国工程物理研究院电子工程研究所 更多>> 发文基金: 中国工程物理研究院科技发展基金 中国工程物理研究院科学技术发展基金 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 机械工程 电气工程 自动化与计算机技术 更多>>
一种微惯性开关芯片及其制备方法 本发明提供了一种微惯性开关芯片及其制备方法。微惯性开关芯片包括玻璃封帽、硅管芯、硅框架和玻璃基底四部分,硅管芯为“平面矩形螺旋梁-方形质量块”微结构。在惯性加速度作用下,方形质量块向玻璃基底运动,当惯性加速度达到闭合阈值... 王超 陈光焱 吴嘉丽 施志贵 郑英彬 武蕊文献传递 MEMS技术在THz无源器件中的应用 被引量:6 2011年 太赫兹技术将在未来高精度频谱探测技术、高分辨率成像和高性能通讯等应用前景良好。太赫兹技术处于电子学与光子学领域的交叉领域,太赫兹器件的尺寸在数十微米到毫米量级,传统的机械加工技术很难达到加工精度要求,甚至无法加工。MEMS技术在太赫兹器件的加工方面具有巨大的优势。总结了目前采用DR IE,LIGA等工艺加工太赫兹器件的研究现状,包括太赫兹传输波导器件、太赫兹传输线器件、慢波结构和特种复合结构的加工。分析了MEMS加工工艺的优缺点和在太赫兹器件加工中的应用前景。 赵兴海 鲍景富 杜亦佳 高杨 郑英彬关键词:微机电系统 LIGA 深反应离子刻蚀 用于微齿轮制作的厚胶光刻工艺 采用UV-LIGA技术制作微齿轮的关键是获得高质量的胶膜结构。运用SU8和ARP3220两种光刻胶进行大量工艺试验,均获得厚度大于50μm的光刻胶膜微齿轮结构,为后续微电铸成型微齿轮提供了基本保障。 武蕊 郑英彬 袁明权关键词:微齿轮 光刻工艺 不同键合温度对低温硅-硅共晶键合的影响 被引量:8 2013年 选取Ti/Au作为金属过渡层来实现低温硅-硅共晶键合。首先介绍了共晶键合的基本原理,分析了选择金-硅共晶键合的原因,设计了单面溅金、双面溅金以及不同温度下的硅-硅共晶键合实验。采用超声波显微镜对键合样品内部空洞缺陷进行了测试,采用测试设备Dage 4000Plus对键合样品的键合强度性能进行了测试,并对测试结果进行了分析讨论。不同温度测试结果表明,380℃为最佳的金-硅共晶键合温度;单、双面溅金测试结果表明,双面溅金键合工艺优于单面溅金键合工艺。较低温度下实现较高键合强度的硅-硅键合实验表明,金-硅共晶键合的工艺简单、键合温度低,且对工艺环境要求不高。 陈颖慧 施志贵 郑英彬 隆艳 王旭光关键词:键合 共晶 键合强度 叉指式微加速度计的耦合场分析 静电伺服微加速度计的工作原理实际上是基于静电反馈力矩和弹性梁的弹性力矩与惯性力矩的平衡,精确的设计有必要建立静电与机械的耦合分析方法,对实体模型进行耦合场分析.论文研究了一种叉指式结构微加速度计,使用通用有限元软件ANS... 郑英彬关键词:微加速度计 有限元法 MEMS 文献传递 基于SP4T开关的4位MEMS开关线式移相器设计 被引量:2 2011年 设计了一款4位MEMS开关线式移相器,由SP4TMEMS开关和微带传输线构成,工作于X波段。单刀四掷(single pole 4throw,SP4T)开关用于切换两条不同电长度的信号通道,即参考相位通道和延迟相位通道。每个SP4T开关包含4个悬臂梁接触式RF MEMS串联开关。介绍了4位MEMS开关线式移相器的总体设计,并给出了其关键部件SP4T开关和相位延迟线的设计细节。采用ADS软件仿真分析了器件的电气性能。仿真分析得到:SP4T开关在中心频率10GHz处的回波损耗为-36dB,插入损耗约为0.18dB;移相器各相位的回波损耗均低于-15dB,插入损耗为-0.8~-0.4dB。这种射频MEMS移相器具有小型化、低功耗和高隔离度的优点。 高杨 柏鹭 郑英彬 张茜梅 秦燃关键词:开关 X波段 一种缩短微电铸加工时间的方法 本发明提供了一种缩短微电铸加工时间的方法,属于微电铸工艺技术领域。本发明提供的缩短微电铸加工时间的方法,包括在衬底上依次制备第一光刻板、第一电镀镍、第一次平坦化、第二光刻板、第二电镀镍、去胶处理、电镀铜、第二次平坦化、去... 丰伟 郑英彬 王颉 杨晴 唐彬 支钞 高彩云 孙强 张青芝 王旭光文献传递 一种高频芯片的低损耗互连工艺方法 本发明公开了一种高频芯片的低损耗互连工艺方法,属于微电子器件互连封装领域,该方法采用MEMS微加工工艺技术实现高频芯片焊盘间的金属互连,可缩短芯片互连的跨接距离,降低寄生效应引入的损耗,提高器件的频率特性;且互连金属尺寸... 苏娟 郑英彬 刘清锋 刘杰 康小克 冯正 谭为 邓贤进 张健文献传递 具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法 本发明涉及传感器技术领域,提供一种具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法。微加速度计包括下极板和连接至下极板的应力缓冲板。下极板包括下极板主体和与下极板主体一体成型的隔离结构,应力缓冲板包括应力缓冲板主体和位于... 杨杰 赵宝林 张照云 熊壮 屈明山 李严军 郑英彬叉指式微加速度计的静电-机械耦合场分析 被引量:5 2002年 为了对微加速度计进行静电 -机械耦合场分析 ,利用ANSYS软件及它的编程语言APDL实现了有限元耦合场分析。作为实例 ,选择一种尺寸的叉指式微加速度计 ,分析了它的灵敏度 ,其结果同理论值基本一致。 郑英彬 苏伟 何晓平关键词:有限元法