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宋朝辉

作品数：40 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 32篇专利
  • 4篇会议论文
  • 3篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 10篇自动化与计算...
  • 3篇电子电信
  • 2篇航空宇航科学...
  • 1篇机械工程

主题

  • 29篇加速度
  • 19篇感器
  • 19篇传感
  • 19篇传感器
  • 15篇速度传感器
  • 15篇加速度传感器
  • 14篇量程
  • 12篇加速度计
  • 8篇高量程加速度...
  • 7篇金属杆
  • 7篇测试装置
  • 6篇压阻
  • 6篇应变计
  • 6篇陀螺
  • 6篇微机械陀螺
  • 6篇敏感电阻
  • 5篇灵敏度
  • 5篇敏度
  • 5篇刻蚀
  • 5篇反应离子

机构

  • 40篇中国科学院
  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 40篇宋朝辉
  • 37篇李昕欣
  • 29篇鲍海飞
  • 14篇刘民
  • 9篇张鲲
  • 7篇王跃林
  • 6篇陆德仁
  • 4篇陈雪萌
  • 2篇戈肖鸿
  • 2篇姜伟
  • 2篇车录锋
  • 2篇李伟
  • 2篇陈方
  • 2篇陈琳
  • 1篇李欣昕
  • 1篇郭南翔
  • 1篇贾孟军
  • 1篇马广富
  • 1篇黄晖
  • 1篇黄树森

传媒

  • 2篇中国微米/纳...
  • 1篇机械强度
  • 1篇科技开发动态
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇第11届全国...
  • 1篇第八届敏感元...

年份

  • 2篇2021
  • 4篇2019
  • 5篇2018
  • 3篇2017
  • 3篇2015
  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 3篇2010
  • 8篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
  • 2篇2005
  • 1篇2004
  • 3篇2003
  • 1篇2002
共 40 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法
本发明涉及一种压阻加速度传感器的模态共振频率的测试方法。其特征在于在保持压阻加速度传感器原有全桥电路连接结构的基础上，利用金属碰撞冲击产生丰富的频谱作为激励源，通过适当的外接电路，采用半桥输出的形式，以获得加速度传感器模...
鲍海飞李昕欣宋朝辉刘民
文献传递
深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器及其制造方法
本发明涉及一种在深反应离子(DRIE)形成的深沟侧面进行半导体杂质扩散来形成加速度敏感梁两个侧面上的压阻敏感电阻的加速度传感器及制造方法。属于硅微机械传感器技术领域。其特征在于为实现电阻间的电绝缘，还采用了在DRIE形成...
李昕欣宋朝辉王跃林
文献传递
基于硅塑性变形原理的二维梳齿静电驱动器及制作方法
本发明涉及一种基于硅塑性变形原理的二维梳齿静电驱动器及其制作方法。其特征在于所述的静电驱动器的中央可动平台通过四根直梁连接到内部支撑框架上，内部支撑框架通过四根折叠梁连接到四个固定锚点上。依靠水平驱动梳齿与垂直驱动梳齿分...
车录锋陈琳李伟宋朝辉戈肖鸿
一种加速度计灵敏度的测试装置与方法
本发明提供一种加速度计灵敏度的测试装置，包括金属框架，该金属框架的顶端设有固定滑环，细线穿过所述固定滑环，且细线的一端通过一微环与一金属杆的顶端连接，所述金属杆的中部加工有一凹口，所述凹口上安装有待测加速度计和应变计，待...
鲍海飞刘民宋朝辉李昕欣
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噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法
本发明提供一种噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法，包括以下步骤：获取待测加速度传感器系统的电噪声频率谱；获取所述待检测加速度传感器系统的冲击频率谱；依据所述冲击频率谱及所述电噪声频率谱确定所述加速度传感器的...
鲍海飞宋朝辉李昕欣
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压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法
本发明涉及提供一种压阻加速度传感器的模态共振频率的测试方法。其特征在于在保持压阻加速度传感器原有全桥电路连接结构的基础上，利用金属碰撞冲击产生丰富的频谱作为激励源，通过适当的外接电路，采用半桥输出的形式，以获得加速度传感...
鲍海飞李昕欣宋朝辉刘民
文献传递
基于硅塑性变形原理的二维梳齿静电驱动器及制作方法
本发明涉及一种基于硅塑性变形原理的二维梳齿静电驱动器及其制作方法。其特征在于所述的静电驱动器的中央可动平台通过四根直梁连接到内部支撑框架上，内部支撑框架通过四根折叠梁连接到四个固定锚点上。依靠水平驱动梳齿与垂直驱动梳齿分...
车录锋陈琳李伟宋朝辉戈肖鸿
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一种双面胶粘性力学行为的温度特性测试装置及测试方法
本发明涉及一种双面胶粘性力学行为的温度特性测试装置，包括一金属杆，该金属杆由一支撑结构支撑并可轴向自由移动；该金属杆一端为冲击端，该冲击端与一冲击摆锤相对中；另一端则通过待测双面胶固定一目标加速度计并置于温控箱内；所述金...
鲍海飞宋朝辉刘民李昕欣
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微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法
本发明涉及一种微梁直拉直压结构的压阻微机械陀螺及制作方法，其特征在于将加速度计作为陀螺的科里奥利加速度检测部分，把两个加速度计放在扭转驱动结构两侧，形成类似音叉原理的微机械陀螺；使用压阻四端器件，检测、控制陀螺的驱动幅度...
李昕欣陈雪萌宋朝辉王跃林
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一种高量程压阻加速度传感器共振频率的测试方法
本发明涉及一种高量程压阻加速度器共振频率的测试方法，特征在于利用金属端面之间碰撞产生较高的加速度和频率成份分布丰富的波作为激励源，当激励源中某些频率的波与高量程压阻加速度传感器的固有模态的频率等于或者接近时，器件高量程压...
鲍海飞宋朝辉李昕欣姜伟
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