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邵杰杰

作品数：21 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
相关领域：文化科学电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇文化科学

主题

  • 15篇光刻
  • 10篇光刻机
  • 8篇三自由度
  • 7篇浸没
  • 6篇调节装置
  • 4篇液体流
  • 4篇回收
  • 4篇并联
  • 4篇并联方式
  • 3篇药品
  • 3篇球面
  • 3篇自由度并联机...
  • 3篇并联机构
  • 3篇V
  • 2篇压板
  • 2篇液桥
  • 2篇枕式包装机
  • 2篇柔性铰链
  • 2篇随动
  • 2篇盘片

机构

  • 21篇浙江大学

作者

  • 21篇邵杰杰
  • 18篇傅新
  • 17篇陈文昱
  • 5篇邹俊
  • 3篇王楚男
  • 3篇刘伟庭
  • 3篇黄硕
  • 2篇龚国芳
  • 2篇阮晓东
  • 2篇付新
  • 2篇施丽青
  • 2篇马同
  • 1篇冯浩

年份

  • 1篇2016
  • 4篇2015
  • 3篇2014
  • 7篇2013
  • 3篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇2010
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于滚珠定位的三自由度精密调节装置
本发明公开了一种基于滚珠定位的三自由度精密调节装置。该装置安装在浸没式光刻机的主框架和浸没单元之间，其安装基板和连接板之间通过三组相同的运动支链以并联方式相连，每组运动支链由安装基板到连接板方向依次由直线运动副、滚珠固定...
傅新廖安志陈文昱邵杰杰
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用于浸没式光刻机的磁流体注入和回收控制装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻机的磁流体注入和回收装置。由电磁铁、磁极、密封固定环和磁流体组成的装置安放在投影透镜组和基底之间。经表面超憎水处理过的内侧磁极内表面形成用于约束浸没液体流场的内层密封带；当线圈两个电磁铁组通...
付新邵杰杰陈文昱
一种基于柔性铰链的三自由度精密调节装置
本发明公开了一种基于柔性铰链的三自由度精密调节装置。该装置安装在浸没式光刻机的主框架和浸没单元之间，其安装基板和运动平台之间由三组相同的运动支链以并联方式相连；每组运动支链由竖直直线运动模块、连接杆固定块、紧固螺栓、连接...
傅新廖安志陈文昱邵杰杰
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用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构
本发明公开了一种用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构。该并联机构的固定平台和运动平台之间通过三根相同的支链相连，每条支链中从运动平台到固定平台依次为移动副、球面副和转动副，其中球面副与转动副之间有连杆相连，三根连杆的...
傅新邵杰杰王楚男陈文昱
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一种基于滚珠定位的三自由度精密调节装置
本发明公开了一种基于滚珠定位的三自由度精密调节装置。该装置安装在浸没式光刻机的主框架和浸没单元之间，其安装基板和连接板之间通过三组相同的运动支链以并联方式相连，每组运动支链由安装基板到连接板方向依次由直线运动副、滚珠固定...
傅新廖安志陈文昱邵杰杰
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颗粒药品二次包装设备
本发明提供一种颗粒药品二次包装设备，其中，小包整理机构连接小包集合分组机构和小包抽样通道，小包集合分组机构连接枕式包装机，小包集合分组机构包括一齿轮形的拨轮，拨轮与导向轨道连接，导向轨道的一端装有小包压板，导向轨道下方设...
邵杰杰傅新黄硕刘伟庭邹俊
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一种非接触式缝隙测量装置和方法
本发明公开了一种非接触式缝隙测量装置和方法。该测量方法用于精确测量上部被测物体下表面与下部被测物体上表面所形成缝隙的三自由度参数。测量传感器以不共线三点的形式安装于上部被测物体，其测量方向均与上部被测物体下表面垂直，调整...
傅新邵杰杰陈文昱施丽青
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一种基于偏心结构的三自由度精密调节装置
本发明公开了一种基于偏心结构的三自由度精密调节装置。运动平台沿周面均布延伸有三个沿运动平台径向的支撑臂，三个支撑臂的臂端均开有偏心孔，三个支撑臂的偏心孔各通过结构相同的运动支链连接在安装基板上；用于定位安装基板的预压组件...
傅新邵杰杰陶岳帮廖安志陈文昱马同
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一种平行板间液桥快速分离的精确观测装置
本发明公开了一种平行板间液桥快速分离的精确观测装置。上、下基板之间通过导向轴进行连接，下基板固定安装在观测机架上，运动板套在导向轴上上下移动，下基板顶面和运动板底面分别设有上、下平面平晶组件，平行同轴的上、下平面平晶固定...
傅新邵杰杰陶岳帮陈文昱
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用于浸没式光刻机的柔性密封和自适应回收装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻机的柔性密封和自适应回收装置。所述装置是安放在投影透镜组和硅片之间的装置，由注液回收构件和随动盘片组成，用于约束浸没液体流场边界。当液体由于硅片高速运动对随动盘片产生冲击时，随动盘片会顺着运...
傅新邵杰杰陈文昱邹俊阮晓东龚国芳
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