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韩利新

作品数：3 被引量：9H指数：2
供职机构：山东建筑大学更多>>
发文基金：博士科研启动基金山东省自然科学基金住房和城乡建设部科学技术计划项目更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇理学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇溅射
  • 3篇磁控
  • 3篇磁控溅射
  • 3篇ZNO薄膜
  • 2篇原子力显微镜
  • 2篇射频磁控
  • 2篇射频磁控溅射
  • 2篇表面形貌
  • 1篇形貌
  • 1篇函数
  • 1篇函数研究
  • 1篇高斯
  • 1篇高斯函数
  • 1篇YB
  • 1篇ER
  • 1篇掺杂
  • 1篇衬底

机构

  • 3篇山东建筑大学

作者

  • 3篇韩利新
  • 2篇张宁玉
  • 2篇霍庆松
  • 1篇刘小村
  • 1篇宋红莲
  • 1篇付刚
  • 1篇李爽
  • 1篇张玉华

传媒

  • 2篇山东建筑大学...

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
非平衡状态下薄膜表面形貌及相关函数研究
非平衡态就是指系统各部分物理性质(如流速、温度、密度)不均匀的现象。本文中的非衡态主要是指薄膜生长的过程是不平衡的，薄膜在生长过程中，各种粒子之间的相互碰撞、粒子与基板碰撞发生反射、吸附及在基板上的形核与生长、岛形合成、...
韩利新
关键词：ZNO薄膜射频磁控溅射表面形貌原子力显微镜高斯函数
衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响被引量：6
2010年
在压强为0.5Pa和0.7Pa的情况下,采用磁控溅射法分别在Si及石英玻璃衬底上生长ZnO薄膜。利用原子力显微镜对ZnO薄膜的表面形貌进行观察,研究了压强及衬底对薄膜表面形貌的影响。研究表明:在Si衬底上生长的ZnO薄膜,压强为0.7Pa时比压强为0.5Pa时表面粗糙度要大;在相同溅射气压(0.7Pa)下,Si衬底上得到的ZnO薄膜质量明显优于石英玻璃衬底上的。
霍庆松张宁玉付刚李爽刘小村韩利新张玉华
关键词：ZNO薄膜磁控溅射原子力显微镜表面形貌
Er/Yb/Al掺杂ZnO薄膜的结构与形貌研究被引量：4
2011年
采用射频磁控溅射技术在室温下Si衬底上制备了ZnO薄膜和Er/Yb/Al掺杂的ZnO薄膜。通过对XRD的结构分析表明:未掺杂ZnO薄膜沿c取向性生长,掺杂ZnO薄膜偏离了正常生长,变为(102)取向性生长的纳米多晶结构;Er/Yb/Al掺杂的ZnO薄膜的晶粒尺寸随着Er元素含量的增多而减小。经AFM对其形貌分析表明:Er3+、Yb3+、Al3+的掺入引起了ZnO薄膜晶格场变化,使薄膜表面粗糙度变大。
韩利新张宁玉霍庆松宋红莲
关键词：射频磁控溅射ZNO薄膜掺杂形貌
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