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闫兰琴

作品数：48 被引量：0H指数：0
供职机构：国家纳米科学中心更多>>
相关领域：文化科学一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 48篇中文专利

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 2篇文化科学
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 19篇纳米
  • 17篇衬底
  • 11篇光学
  • 8篇刻蚀
  • 7篇电子束
  • 6篇等离子体
  • 6篇金属
  • 6篇光刻
  • 5篇偏振
  • 5篇灵敏度
  • 5篇敏度
  • 5篇金属膜
  • 5篇拉曼
  • 5篇光刻胶
  • 5篇硅衬底
  • 5篇表面增强拉曼
  • 4篇电子束抗蚀剂
  • 4篇电子束曝光
  • 4篇定影
  • 4篇射频磁控

机构

  • 48篇国家纳米科学...

作者

  • 48篇褚卫国
  • 48篇闫兰琴
  • 30篇徐丽华
  • 23篇宋志伟
  • 21篇董凤良
  • 19篇陈佩佩
  • 12篇田毅
  • 10篇胡海峰
  • 6篇张先锋
  • 4篇苗霈
  • 3篇李志琴
  • 2篇亓丽梅
  • 1篇李志刚
  • 1篇赵珉

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 7篇2022
  • 4篇2021
  • 9篇2020
  • 3篇2019
  • 4篇2018
  • 5篇2017
  • 3篇2016
  • 9篇2015
  • 2篇2014
共 48 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种氟化碳膜及其制备方法和用途
本发明提供了一种氟化碳膜(CF<Sub>x</Sub>)及其制备方法和用途，所述氟化碳膜(CF<Sub>x</Sub>)的制备方法为：将惰性衬底置于ICP刻蚀系统中，以分子式中含有氟原子和碳原子的气体为工作气体对衬底表面...
闫兰琴褚卫国徐丽华张先锋
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一种低温制备非晶硅膜材料的方法、得到的产品和用途
本发明涉及一种低温制备非晶硅膜材料的方法、得到的产品和用途。所述低温制备非晶硅膜材料的方法包括：采用高密度等离子体增强化学气相沉积设备制备非晶硅膜材料，气相沉积的温度≤100℃，所述高密度等离子体增强化学气相沉积设备的功...
宋志伟褚卫国徐丽华闫兰琴
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一种表面增强拉曼衬底的制备方法
本发明涉及纳米材料技术领域，涉及一种金属/介电材料复合的纳米阵列结构及其制作方法，特别涉及一种表面增强拉曼衬底及其制备方法，所述拉曼衬底是由金属和介电材料组成的纳米阵列结构，所述纳米阵列结构的线宽为10‑25nm。本发明...
陈佩佩褚卫国田毅闫兰琴
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一种精度为亚十纳米的电子束曝光和定位方法
本发明涉及纳米加工技术领域，具体涉及一种精度为亚十纳米的电子束曝光和定位方法，包括：S1：设计用于约束电子束的曝光图形；S2：在基底材料上旋涂电子束抗蚀剂，选取合适的电子束曝光步长和剂量，经过电子束曝光、显影和定影得到具...
胡海峰褚卫国陈佩佩董凤良闫兰琴
一种利用光刻胶以及低温等离子刻蚀制备黑硅的方法
本发明涉及一种利用光刻胶以及低温等离子体刻蚀制备黑硅的方法，包括以下步骤：在硅片表面涂覆光刻胶，曝光，烘烤固化，进行低温等离子体刻蚀，从而在硅片表面形成密排的纳米锥状的陷光结构。本发明提供的方法能够在硅片上形成具有很强吸...
徐丽华闫兰琴褚卫国
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一种纳米结构阵列及其制备方法和用途
本发明提供了一种纳米结构阵列及其制备方法和用途，所述纳米结构阵列的面积为100-250000μm<Sup>2</Sup>，所述纳米阵列的线宽为3-15nm；所述纳米结构阵列的制备方法包括：对衬底进行表面处理；采用电子束曝...
陈佩佩李志琴董凤良闫兰琴徐丽华褚卫国
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一种透明超疏水薄膜、其制备方法及用途
本发明涉及一种透明超疏水薄膜、其制备方法及用途。本发明的透明超疏水薄膜兼具超薄、超透明和极好的超疏水性，厚度在60‑150nm，透光率在90‑97％，与水的接触角大于167°。本发明采用将射频磁控溅射与退火相结合的方法在...
闫兰琴褚卫国徐丽华宋志伟
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一种硅表面制作密度可调的锥状陷光结构的方法及制得的黑硅
本发明涉及一种硅表面制作密度可调的锥状陷光结构的方法及制得的黑硅，所述方法包括：1)采用等离子体处理方法，对硅片进行表面处理，在硅片表面形成点状非连续SiO<Sub>x</Sub>掩膜，处理时间决定黑硅锥状结构的密度；2...
徐丽华褚卫国陈佩佩闫兰琴
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一种基于金属纳米光栅的微偏振片阵列的制作方法
本发明涉及一种基于金属纳米光栅的微偏振片阵列的制作方法。所述方法包括以下步骤：（1）在基底上镀一层金属薄膜层并干燥处理；（2）在所述金属薄膜层上旋涂电子束正性光刻胶层并干燥处理；（3）在所述光刻胶层上通过电子束直写曝光并...
董凤良徐丽华苗霈宋志伟闫兰琴褚卫国
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一种金属和介质复合的纳米图案化基底及其制备方法与应用
本发明提供了一种金属和介质复合的纳米图案化基底及其制备方法与应用，所述纳米图案化基底包括衬底、周期性的三维介质纳米结构和金属纳米颗粒；所述三维介质纳米结构设置于衬底上；所述金属纳米颗粒限域在三维介质纳米结构中；所述纳米图...
陈佩佩褚卫国田毅胡海峰闫兰琴
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