任伟 作品数:15 被引量:23 H指数:3 供职机构: 中国科学院声学研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 中国科学院重点部署项目 更多>> 相关领域: 自动化与计算机技术 电子电信 理学 一般工业技术 更多>>
Sol-Gel法制备PZT粉体的工艺研究 被引量:3 2012年 以丙醇锆(C12H28O4Zr)、醋酸铅(Pb(CH3COO)2.3H2O)、异丙醇钛(Ti{OCH(CH3)2}4)为原料,采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺,研究了不同的热处理制度对于Pb(Zr0.52Ti0.48)O3粉体的物相形成、晶粒尺寸及颗粒分散度等的影响。实验结果表明,Sol-Gel法制备PZT粉体,预结晶温度段,改变烧结时间,对于粉体颗粒的尺寸影响不大;结晶温度段,改变结晶时间或结晶温度,会对颗粒尺寸产生较大的影响。 任伟 李俊红 赵修臣 刘颖关键词:钙钛矿相 MEMS压电水听器和矢量水听器研究进展 被引量:11 2018年 基于微电子机械系统制造技术的MEMS压电水听器和矢量水听器具有小型化、低功耗、低成本、易成阵、无源、噪音低等优点。对基于ZnO薄膜的MEMS水听器和矢量水听器进行了研究,测试结果表明,硅微压电水听器的灵敏度为-192 d B(ref.1 V/μPa),基本达到实用化的要求。MEMS压电矢量水听器等效声压灵敏度为-229.5 d B(ref.1 V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 d B,但还未达到实用化要求。为了进一步提高MEMS矢量水听器的灵敏度,设计了具有U形槽的压电复合悬臂梁结构和电极串联结构,采用具有更高压电系数的掺钒ZnO薄膜作为压电层,并对MEMS制备工艺进行了改进,有望显著提高MEMS矢量水听器的灵敏度。 李俊红 马军 魏建辉 任伟关键词:微电子机械系统 水听器 ZNO薄膜 灵敏度 一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法 本发明涉及一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法,MEMS压电矢量水听器包括:1‑3个后置放大电路、灌封结构以及1‑3个压电传感芯片。1‑3个后置放大电路被相互垂直放置在灌封结构,其中,每个后置放大电路上粘贴并焊接一个压... 李俊红 汪承灏 魏建辉 马军 任伟文献传递 一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法 本发明涉及一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法,MEMS压电矢量水听器包括:1-3个后置放大电路、灌封结构以及1-3个压电传感芯片。1-3个后置放大电路被相互垂直放置在灌封结构,其中,每个后置放大电路上粘贴并焊接一个压... 李俊红 汪承灏 魏建辉 马军 任伟具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法 本发明涉及一种具有串联结构的MEMS压电矢量水听器,包括:1‑3个传感单元和灌封结构,1‑3个传感单元被相互垂直放置在灌封结构;其中,每个传感单元包括至少两个压电传感芯片、绝缘板和后置放大电路,至少两个压电传感芯片串联焊... 汪承灏 李俊红 魏建辉 马军 任伟文献传递 一种U形槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法 本发明涉及一种U形槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器,所述MEMS压电矢量水听器的工作频率范围为10KHz以下;其包括:若干压电传感芯片(a)、对应的若干后置放大电路(b)、灌封结构(c);每个所述后置放大电路(b)上... 李俊红 李东宁 任伟 汪承灏文献传递 快速声表面波气相色谱技术检测水中苯系物 被引量:5 2020年 建立了便携式声表面波气相色谱快速检测水中苯系物的方法。实验条件:检测器温度25℃,DB-5毛细管色谱柱:初始温度40℃,10℃/s程序升温至180℃。结果表明,氯苯、间二甲苯、苯乙烯、异丙苯保留时间分别为1.72 s、1.86 s、2.00 s、2.22 s,检出限分别为1.34μg/L、0.55μg/L、0.50μg/L、0.39μg/L,测得相对标准偏差值为4.08%~5.98%,回收率为82.7%~103.8%,且线性良好,线性相关系数为0.9946~0.9993。因此,该方法适用于水中苯系物的快速应急监测。 陆艳艳 孙林 朱宏伟 任伟 刘久玲 何世堂关键词:顶空进样 苯系物 具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法 本发明涉及一种具有串联结构的MEMS压电矢量水听器,包括:1-3个传感单元和灌封结构,1-3个传感单元被相互垂直放置在灌封结构;其中,每个传感单元包括至少两个压电传感芯片、绝缘板和后置放大电路,至少两个压电传感芯片串联焊... 汪承灏 李俊红 魏建辉 马军 任伟基于指条厚度优化的冷凝式声表面波气体传感器灵敏度提升方法 2022年 该文通过对声表面波谐振器指条厚度的优化提升了冷凝式气体传感器的灵敏度。基于流固耦合理论,利用有限元商业软件建立了有液膜负载和无液膜负载下的多物理场三维周期模型,并提取了相应的耦合模参量,利用耦合模模型及P矩阵级联技术,计算了不同指条厚度下液膜负载引起的传感器响应,获得了冷凝式声表面波气体传感器灵敏度随指条厚度的变化关系。实验中制备了6种不同电极厚度的声表面波谐振器,并利用甲基膦酸二甲酯实验样品完成了传感器的响应测试,验证了理论分析的正确性。结果表明,冷凝式声表面波气体传感器的灵敏度随指条厚度的增加先变大后减小,最优归一化电极厚度为6.4%7.6%之间。该研究结果对进一步提升传感器灵敏度具有重要意义。 邹亮桃 刘久玲 游然 刘明华 任伟 何世堂关键词:灵敏度 0-3法制备PZT厚膜及其性能研究 2015年 采用0-3复合法制备PZT(Pb Zr0.52Ti0.48O3)厚膜,通过陈化、静置、去除沉淀颗粒、浓缩等方法改良了浆料配制工艺,大大改善了厚膜的表面粗糙度,制备出适于微压电换能器使用的PZT厚膜。采用单层退火的方式对厚膜进行了结晶热处理,研究了不同结晶温度对厚膜性能的影响。结果表明:改良的浆料配制工艺,明显降低了厚膜的表面粗糙度,大大改善了表面形貌;随着热处理温度的升高,厚膜的晶粒尺寸变大,剩余极化变大,矫顽场变小,粗糙度有增大的趋势;当结晶温度为700℃时,剩余极化达到15μC/cm2,矫顽场为30.5 k V/cm。 任伟 赵修臣 李俊红 汪承灏关键词:PZT厚膜 结晶温度 粗糙度