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唐丽娟
唐丽娟
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华星光电技术有限公司
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一般工业技术
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合作作者
李子健
华星光电技术有限公司
戴天明
华星光电技术有限公司
胡国仁
华星光电技术有限公司
李亚
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5.5英寸低温多晶硅CMOS AMOLED面板工艺研究
本文研究了LDD结构低温多晶硅(LTPS)CMOS的薄膜晶体管的相关制程,其经过准分子激光退火之后的多晶硅的晶粒大小约为0.30um.分析了NTFT的迁移率和漏电流,在不同的低掺杂漏极(LDD)离子植入条件下的变化关系....
戴天明
徐源竣
胡国仁
汤富雄
李子健
唐丽娟
许宗义
关键词:
低温多晶硅
参数测试
文献传递
PECVD法改善非晶硅薄膜结晶效果的研究
实验采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法在玻璃衬底上制备非晶硅(a-Si)薄膜,再经准分子激光退火(ELA)使其结晶为多晶硅(Poly-Si).通过分析多晶硅薄膜的晶粒大小与表面粗糙度来研究射频功率、电极板间距、...
唐丽娟
徐源竣
胡国仁
戴天明
李子健
汤富雄
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许宗义
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