2025年1月26日
星期日
|
欢迎来到海南省图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
您的位置:
专家智库
>
作者详情
>
李亚
李亚
作品数:
1
被引量:0
H指数:0
供职机构:
华星光电技术有限公司
更多>>
相关领域:
一般工业技术
更多>>
合作作者
李子健
华星光电技术有限公司
唐丽娟
华星光电技术有限公司
戴天明
华星光电技术有限公司
胡国仁
华星光电技术有限公司
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
题名
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
1篇
国内会议论文
领域
1篇
一般工业技术
主题
1篇
硅薄膜
1篇
非晶硅
1篇
非晶硅薄膜
1篇
PECVD法
机构
1篇
华星光电技术...
作者
1篇
胡国仁
1篇
戴天明
1篇
唐丽娟
1篇
李亚
1篇
李子健
传媒
1篇
2014中国...
年份
1篇
2014
共
1
条 记 录,以下是 1-1
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
相关度排序
相关度排序
被引量排序
时效排序
PECVD法改善非晶硅薄膜结晶效果的研究
实验采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法在玻璃衬底上制备非晶硅(a-Si)薄膜,再经准分子激光退火(ELA)使其结晶为多晶硅(Poly-Si).通过分析多晶硅薄膜的晶粒大小与表面粗糙度来研究射频功率、电极板间距、...
唐丽娟
徐源竣
胡国仁
戴天明
李子健
汤富雄
李亚
许宗义
文献传递
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张