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李亚

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:华星光电技术有限公司更多>>
相关领域:一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇硅薄膜
  • 1篇非晶硅
  • 1篇非晶硅薄膜
  • 1篇PECVD法

机构

  • 1篇华星光电技术...

作者

  • 1篇胡国仁
  • 1篇戴天明
  • 1篇唐丽娟
  • 1篇李亚
  • 1篇李子健

传媒

  • 1篇2014中国...

年份

  • 1篇2014
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
PECVD法改善非晶硅薄膜结晶效果的研究
实验采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法在玻璃衬底上制备非晶硅(a-Si)薄膜,再经准分子激光退火(ELA)使其结晶为多晶硅(Poly-Si).通过分析多晶硅薄膜的晶粒大小与表面粗糙度来研究射频功率、电极板间距、...
唐丽娟徐源竣胡国仁戴天明李子健汤富雄李亚许宗义
文献传递
共1页<1>
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